刘世元教授团队相关成果原理示意图。受访者供图
1月10日,“2022中国光学领域十大社会影响力事件(Light10)”年度榜单出炉。《中国科学报》记者获悉,该校机械学院刘世元教授团队成功研发了我国首款全自主计算光刻EDA软件,入围榜单。这一款完全自主可控的OPC软件已在宇微光学软件有限公司实现成果转化和产业化,填补了国内空白。
“OPC是芯片设计工具EDA工业软件的一种,没有这种软件,即使有光刻机,也造不出芯片。从基础研究到产业化应用,我们团队整整走了十年。十年磨一剑,就是要解决芯片从设计到制造的卡脖子问题。”刘世元表示,希望自己的研究成果能够最终转化成产品,为国家和社会发展作贡献。今后,他将带领团队和他所创立的宇微光学软件有限公司加快产品推广步伐,加快进入国内外芯片制造厂商市场,力争成为全球芯片产业链中重要的一环。
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