压电纳米定位产品在原子力显微镜中的应用举例

以下为两个简单案例：

图1中，芯明天公司提供的产品为压电陶瓷、Z轴压电物镜定位系统及XY轴二维压电纳米定位台。设备原理为：原子力探针的针尖端部置于干涉显微镜的光轴上，产生干涉条纹由CCD接收，当XY二维压电纳米定位台带动样件移动时，表面高度变化，引起原子力探针变化，其变化量由白光干涉条纹计量。当原子力探针的变化量超过预定阈值，Z向压电陶瓷启动，将原子力探针拉回原位，实现原子力探针的跟踪测量。

图2中，芯明天公司提供的产品为XYZ轴三维压电纳米定位台。结构原理为：闭环XYZ三维压电纳米扫描台带动样品进行X、Y、Z三轴的纳米级运动，可以实现每轴280μm的扫描，与悬臂探针相配合，分辨率为亚纳米级，响应时间可达亚毫秒。