原子力显微镜（AFM）的几种成像模式研究

原子力显微镜（AFM）有有三种基本成像模式，它们分别是接触式(Contact mode)、非接触式(non-contact mode)、轻敲式(tapping mode)。想了解更详细的信息，可以咨询Park原子力显微镜。Park NX-Wafer全自动AFM解决了缺陷成像和分析问题，提高缺陷检测生产率达1000%。超高精度和最小化探针针尖变量的亚埃级表面粗糙度测量，能够可靠地获得具有最小针尖变量的的亚埃级粗糙度测量。

原子力显微镜三种成像模式具体内容如下：
1、接触式。接触式AFM是一个排斥性的模式，探针尖端和样品做柔软性的“实际接触”，当针尖轻轻扫过样品表面时，接触的力量引起悬臂弯曲，进而得到样品的表面图形。
2、非接触式。在非接触模式中，针尖在样品表面的上方振动，始终不与样品接触，探测器检测的是范德华作用力和静电力等对成像样品没有破坏的长程作用力。需要使用较坚硬的悬臂（防止与样品接触）。
3、轻敲式。微悬臂在其共振频率附近做受迫振动，振荡的针尖轻轻的敲击表面，间断地和样品接触。当针尖与样品不接触时，微悬臂以最大振幅自由振荡。当针尖与样品表面接触时，尽管压电陶瓷片以同样的能量激发微悬臂振荡，但是空间阻碍作用使得微悬臂的振幅减小。反馈系统控制微悬臂的振幅恒定，针尖就跟随表面的起伏上下移动获得形貌信息。

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