哈工大科研团队实现基于新型音叉的石英增强光谱高灵敏度气体检测

　　近日，哈尔滨工业大学航天学院马欲飞教授课题组实现基于新型音叉的石英增强光谱高灵敏度气体检测。相关研究成果发表于科技期刊《应用物理评论》（Applied Physics Reviews）并被期刊选为特色论文。

　　石英光谱气体传感技术是一种以石英音叉为探测元件的激光吸收光谱式气体传感技术，在环境监测、火灾预警、医学诊断等领域中具有重要的应用价值。石英音叉作为传感器系统中的核心探测单元对系统的检测性能起到决定性的作用。为了进一步提升石英增强光谱气体传感系统的检测性能，马欲飞教授课题组从传感器系统的核心探测单元-石英音叉出发，设计了一款新型锥形叉指石英音叉，优化了叉指的应力分布并且使其结构更利于湿法刻蚀加工。依据传感器系统的浓度测量结果，证明了该系统具有优异的浓度线性响应。