| 仪器名称： | 四探针薄层电阻测试仪 |
| 仪器编号： | 06013029 |
| 产地： | 美国 |
| 生产厂家： | 4 Dimensions 公司 |
| 型号： | 280SJ |
| 出厂日期： | 200401 |
| 购置日期： | 200612 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析 |
| 放置地点： | 微电子所一层微纳平台测试间 |
| 固定电话： | 010-62784044 |
| 固定手机： | 13911813423 |
| 固定email： | baoyl@mail.tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | 包艳琳（010-62784044,13020075088,baoyl@tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） 曹秉军（010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 半导体 测试 方块电阻 |
| 技术指标： | 测量范围为0.001到800000Ω/□；面板控制可以测量1点或5点；外部控制可以最多测量5000点； |
| 知名用户： | 王喆垚：微电子所 蔡坚：微电子所 许军：微电子所 任天令：微电子所 陈炜：微电子所 王敬：微电子所 邓宁：微电子所 吴华强：微电子所 伍晓明：微电子所 |
| 技术团队： | 设备工程师：曹秉军 测试工程师：包艳琳 |
| 功能特色： | 用于测量硅晶片上传导薄膜的方块电阻，可测量离子注入层、薄金属膜或外延层的方块电阻。测量范围为0.001到800000Ω/□；面板控制可以测量1点或5点；外部控制可以最多测量5000点；晶片尺寸大到8英寸或6 x 6英寸正方晶片；测量结果以二维或三维方式显示和打印，测量数据可以输出到Microsoft EXCEL或ASCII码数据文件。 |
样品要求：
可测量离子注入层、薄金属膜或外延层的方块电阻。测量范围为0.001到800000Ω/□。
预约说明：
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 四探针电阻 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 200.0 | |
| 四探针电阻-送样 | 元/小时 | 测试费 | 200.0 |
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