最常用的,人们一般采用外来污染碳的C1s 作为基准峰来进行校准。以测量值和参考值(284.8 eV)之差作为荷电校正值(Δ) 来矫正谱中其他元素的结合能。
具体操作:1) 求取荷电校正值:C 单质的标准峰位(一般采用284.8 eV)- 实际测得的C 单质峰位= 荷电校正值Δ;2) 采用荷电校正值对其他谱图进行校正:将要分析元素的XPS 图谱的结合能加上Δ,即得到校正后的峰位(整个过程中XPS 谱图强度不变)。
将校正后的峰位和强度作图得到的就是校正后的XPS 谱图。
