射电镜电学测试样品杆与扫描电镜联合系统的设计

射电镜电学测试样品杆与扫描电镜联合系统的设计

        利用透射电镜电学测试样品杆与Quanta250型扫描电镜相结合，成功搭建出在扫描电镜和透射电镜中通用的原位电学性能测试装置。应用此装置在扫描电镜和透射电镜中实现单体纳米材料应变加载下的电学性能测试，充分利用扫描电镜和透射电镜的优缺点，进一步完善揭示了单体纳米材料的综合性能。

1.1透射电镜电学测试样品杆

        Nanofactory公司开发的透射电镜电学测试样品杆的工作原理是：通过微电机进行粗调控和压电陶瓷微控制实现前端探针在X，Y，Z三维空间的精细移动。其可控空间在X，Y方向位移精度达到0.02nm，Z方向位移精度可达到0.0025nm。进而实现通过操控探针与样品相搭接，使样品发生应变，并可以实时加载偏压，对样品施加电载荷并输出电学信号。加载偏压为 -140V~140V，电流范围0~5mA。基于以上两点，可以实现原位的电学性能测试。

        透射电镜电学测试样品杆的构造如图1所示，透射电镜电学测试样品杆上套有密封作用的橡胶圈，载物台上可放取待测样品，压电陶瓷控制探针移动。