使用时注意事项：
1. 仪器的功率参数设定不要超过60（即仪器额定功率的60%）
2. 样品处理时间不要过长（不要超过10分钟）如果感觉处理的效果不是很理想可以停机后，过5分钟（待仪器的热量散掉后）在进行一次处理。
3. 在日常的使用过程中一定要做到打开电源后，先进行回气操作使仓体恢复常压（按下Air/Vent按钮，并在3—5秒后复原Air/Vent按钮）后再开始实验。目的是防止真空泵油逆流。
4. 实验中处理的样品不要与仪器的舱内高压板接触
5. 对于本机而言一般材料的处理，所供气体量在200-400ml/min之间等离子密度较为适宜
6. 平常要保持仪器的清洁，特别要注意舱门密封处。
7. 仪器不要放于特殊环境中使用，例如：高温 高湿等恶劣环境。
外加气体使用注意：
1.外加气体（氧气）由机箱的后边 GAS1引入，现接口直径为10毫米，也可配成直径6毫米的接头。
2.将氧气的出口压力调到0.2MPa，可长期接入，也可用完后关闭氧气瓶。
3.外加氧气时一定要注意：在正常使用前一定要在手动状态下，先不按下GAS按钮时给射频，观看舱体的.发光颜色，发白时为宜，此时再按下GAS按钮，并调整流量计旋钮，使流量在300--400毫升之间，此时的氧离子的发光颜色为灰色且有些雾蒙蒙的感觉，即为正常。
4.在舱体加射频时出现打火的情况下（即真空度不够的情况下），千万不要加入氧气，有可能引燃氧气而将射频线烧毁
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