扫描探针技术（SPM）与其它显微分析技术相比有什么特点

在STM 出现以后，又陆续发展了一系列工作原理相似的新型显微技术，包括原子力显微镜，以原子力显微镜为代表的扫描探针技术（SPM）与其它显微分析技术相比有以下特点：

1）、原子级高分辨率。如STM 在平行和垂直于样品表面方向的分辨率分别可达0.1nm 和0.01nm，可以分辨出单个原子，具有原子级的分辨率。图4-1 比较了SPM 与其它显微技术的分辨率。

图16  扫描探针显微镜（SPM）与其他显微镜技术的分辨本领范围比较

图16中，HM：高分辨光学显微镜； PCM：相反差显微镜； (S)TEM：（扫描）透射电子显微镜；FIM：场离子显微镜；REM：反射电子显微镜

2）、可实时地得到实空间中表面的三维图像，可用于具有周期性或不具备周期性的表面结构研究。这种可实时观测的性能可用于表面扩散等动态过程的研究。

3）、可以观察单个原子层的局部表面结构，而不是体相或整个表面的平均性质。因而可直接观察到表面缺陷、表面重构、表面吸附体的形态和位置，以及由吸附体引起的表面重构等。

4）、可在真空、大气、常温等不同环境下工作，甚至可将样品浸在水和其它溶液中，不需要特别的制样技术，并且探测过程对样品无损伤。这些特点适用于研究生物样品和在不同试验条件下对样品表面的评价，例如对于多相催化机理、超导机制、电化学反应过程中电极表面变化的监测等。

5）、配合扫描隧道谱STS(Scanning Tunneling Spectroscopy)可以得到有关表面结构的信息，例如表面不同层次的态密度、表面电子阱、电荷密度波、表面势垒的变化和能隙结构等。