扫描电镜原位光电力一体化系统

原位扫描电镜光电力一体化系统集成了扫描探针控制单元，可在三维空间内对电学探针与光纤探针进行亚纳米级别精度的操纵与定位。通过电学探针施加电场，通过光纤施加光场，对单个纳米结构进行操控并进行电学性质、光电性质的测量。并可在物性测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大地扩展了扫描电镜的功能与应用领域。

性能指标
 

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电流测量最大±1.5 A，最小±100 fA；

● 电压输出最大±200 V，最小±100 nV；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

扫描探针操作指标：

● 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纤指标：

● 光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

● 可选光纤探针、平头光纤、光纤透镜；

● 可选SMA接头、FC接头。

力学传感器指标：

● 最大载荷100 mN（可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN最大载荷时）；

● 力测量实测分辨率优于5 nN（0.1 mN最大载荷时）；

● 自动测量力-距离曲线，自动保存。