扫描电镜的原理介绍

扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。主要用于各种材料的微观分析和成分分析，已经成为材料科学、生命科学和各生产部门质量控制中不可缺少的工具之一。

扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线能谱分析系统。

扫描电镜的原理介绍：

扫描电子显微镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面，从而获得样品信息的电子显微镜。所以其使用电子束为照明源，电子束在样品表面扫描，利用电子和物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要依据分辨率和有效放大倍数。分辨率即能够分辨的小距离。

通常采用阿贝公式定义分辨率，公式（单位为nm）为：

式（1）中：R 为分辨率；λ为波长；n 为折射率；α为孔径半径。

有效放大倍数定义为：

式（2）中：Rp 为人眼能够区分的小距离，Rm 为机器能够分辨的小距离，比如人眼可以区分0.2 mm，机器可以区分1 nm，那么这台仪器有效放大倍数是20 万倍。针对不同的有效放大倍数，扫描范围也会有所区别。