扫描电镜SEM与电子探针EPMA对比总结

一、EPMA相对于SEM，(平台方面)：

1.可以大束流，计数率与束流成正比；

2.束流控制和稳定性更好；

3.EPMA有光学显微镜控制样品高度。

二、EPMA(WDS)与EDS，(EPMA标配WDS，SEM选配EDS)：

1.EPMA分辨率比EDS高一个数量级；

2.EPMA的灵敏度优于EDS，测试微量元素时效果更好；

3.EPMA检出限更低；

4.EPMA是有标测试，精度高。

三、EPMA与SEM+WDS，(SEM选配WDS，与EPMA标配WDS)：

1.WDS(SEM)是单通道，1个检测器配4个分光晶体，测试时旋转晶体。EPMA可以5个通道5个检测器同时测试，效率更高；

2.单通道时，方位受限；

3.由于SEM的小束流，灵敏度低，低含量元素测试受限；

4.EPMA检测限更低；

5.SEM+WDS低倍测试不能（最低40X左右），EPMA可分性区域更大（样品台扫描）。

四、SEM+EDS优势：

1.更好的电子图像质量（二次电子分辨率、锐度方面等更好）；

2.SEM+EDS更快速的半定量解析；

3.分析过程更简单一些。