掺杂薄膜中超轻元素的EDS定量分析

通常对薄膜表面形貌和化学分析利用的俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱仪等都有着不同程度的缺点和不足,而附带X射线能谱仪(Energy Dispersive X-ray Spectrometer简称EDS)的扫描电子显微镜,是比较通常的仪器,操作比较简单,对样品的破坏性要小得多,作为一种快速无损多元素检测方法,在观测样品形貌特征的同时还可以样品微区的成分分析。