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掺杂薄膜中超轻元素的EDS定量分析

通常对薄膜表面形貌和化学分析利用的俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱仪等都有着不同程度的缺点和不足,而附带X射线能谱仪(Energy Dispersive X-ray Spectrometer简称EDS)的扫描电子显微镜,是比较通常的仪器,操作比较简单,对样品的破坏性要小得多,作为一种快速无损多元素检测方法,在观测样品形貌特征的同时还可以样品微区的成分分析。 ......阅读全文

掺杂薄膜中超轻元素的EDS定量分析

通常对薄膜表面形貌和化学分析利用的俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱仪等都有着不同程度的缺点和不足,而附带X射线能谱仪(Energy Dispersive X-ray Spectrometer简称EDS)的扫描电子显微镜,是比较通常的仪器,操作比较简单,对样品的破坏性要小得多,作为一种快速

eds元素分析中的元素含量对应哪些物质

这个问题不好说,看你有没有这个检测需求。 EDS主要检测无机成分在固体微观区域分布状态,定量研究无机元素分布均匀程度。 一般使用无标样定量分析,主元素的定量精度较高,相对误差±2%范围内,微量及痕量元素相对误差很大.

eds元素分析中的元素含量对应哪些物质

这个问题不好说,看你有没有这个检测需求。 EDS主要检测无机成分在固体微观区域分布状态,定量研究无机元素分布均匀程度。 一般使用无标样定量分析,主元素的定量精度较高,相对误差±2%范围内,微量及痕量元素相对误差很大.

Si1-xGex:C合金薄膜的EDS元素深度分析

俄歇电子能谱(AES)、x 光电子能谱(XPS)、x 射线能量色散谱(EDS)是目前应用最广泛的显微分析方法。与 AES 和 XPS 相比,EDS 有诸多优点,如测试方便、不损坏试样、分析速度快;但缺点是分辨率和定量分析准确度不够高,这主要是由于大的加速电压和束流导致大的分析面积和表面效应。 

EDS能定量分析材料中的元素丰度吗

EDS能测定原子序数大于2的原子X射线发射,属于半定量分析,对金属元素相对准确,有机物中的C、O误差很大,仅作参考。

EDS元素分析

EDS元素分析   一、实验目的   1.了解能谱仪(EDS)的结构和工作原理。   2.掌握能谱仪(EDS)的分析方法、特点及应用。   二、实验原理   在现代的扫描电镜和透射电镜中,能谱仪(EDS)是一个重要的附件,它同主机共用一套光学系统,可对材

EDS元素分析

一、实验目的 1.了解能谱仪(EDS)的结构和工作原理。 2.掌握能谱仪(EDS)的分析方法、特点及应用。  二、实验原理 在现代的扫描电镜和透射电镜中,能谱仪(EDS)是一个重要的附件,它同主机共用一套光学系统,可对材料中感兴趣部位的化学成分进行点分析、面分析、线分析。它的主要优点有:(1)分析速

EDS元素分析

EDS元素分析一、实验目的 1.了解能谱仪(EDS)的结构和工作原理。 2.掌握能谱仪(EDS)的分析方法、特点及应用。  二、实验原理 在现代的扫描电镜和透射电镜中,能谱仪(EDS)是一个重要的附件,它同主机共用一套光学系统,可对材料中感兴趣部位的化学成分进行点分析、面分析、线分析。它的主要优点有

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  EDS元素分析  一、实验目的  1.了解能谱仪(EDS)的结构和工作原理。  2.掌握能谱仪(EDS)的分析方法、特点及应用。  二、实验原理  在现代的扫描电镜和透射电镜中,能谱仪(EDS)是一个重要的附件,它同主机共用一套光学系统,可对材料中感兴趣部位的化学成分进行点分析、面分析、线分析。

EDS元素分析

一、实验目的 1.了解能谱仪(EDS)的结构和工作原理。 2.掌握能谱仪(EDS)的分析方法、特点及应用。  二、实验原理 在现代的扫描电镜和透射电镜中,能谱仪(EDS)是一个重要的附件,它同主机共用一套光学系统,可对材料中感兴趣部位的化学成分进行点分析、面分析、线分析。它的主要优点有:(1)分析速