无机质谱仪
火花源双聚焦质谱仪。
电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)。
二次离子质谱仪(SIMS)
辉光放电质谱仪(GDMS)
但以上的分类并不十分严谨。因为有些仪器带有不同附件,具有不同功能。例如,一台气相色谱-双聚焦质谱仪,如果改用快原子轰击电离源,就不再是气相色谱-质谱联用仪,而称为快原子轰击质谱仪(FAB MS)。另外,有的质谱仪既可以和气相色谱相连,又可以和液相色谱相连,因此也不好归于某一类。在以上各类质谱仪中,数量最多,用途最广的是有机质谱仪。