显微技术概述

在近代仪器发展史上，显微技术一直随着人类科技进步而不断的快速发展，科学研究及材料发展也随着新的显微技术的发明，而推至前所未有的微小世界。自从 1982 年Binning 与 Robher 等人共同发明扫描穿隧显微镜(scanning tunneling microscope, STM)之后，人类在探讨原子尺度的欲望上，更向前跨出了一大步，对于材料表面现象的研究也能更加的深入了解，在这之前，能直接看到原子尺寸的仪器只有场离子显微镜(Field ionmicroscopy, FIM)与电子显微镜(Electron microscope, EM)。但碍于试片制备条件及操作环境的限制，对于原子尺寸的研究极为有限，而STM 的发明则克服了这些问题。由于， STM其原理主要是利用电子穿隧的效应来得到原子影像，材料须具备导电性，应用上有所限

制，而在 1986 年 Binning 等人利用此探针的观念又发展出原子力显微(Atomic forcemicroscope, AFM) ， AFM 不但具有原子尺寸解析的能力，亦解决了 STM 在导体上的限制，应用上更为方便。

自扫描式穿隧显微镜问世以来，更有几十种类型的探针显微镜一直不断地被开发出来，以探针方式的扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope, SPM)是个大家族，其中较熟识之技术如：扫描式穿隧显微镜(STM)，近场光学显微镜(NSOM)，磁力显微镜(MFM)，化学力显微镜(CFM)，扫描式热电探针显微镜(SThM)，相位式探针显微镜(PDM)，静电力显微镜(EFM)、侧向摩擦力显微镜(LFM)，原子力显微镜(AFM)等。