显微镜物镜分辨距离的计算公式：根据光学衍射理论，衍射光斑直径d＝Kλ／NA，若光斑为爱里圆斑，则强度沿径向降低为最大值的1／2时，对应的K＝0.52，即d＝0.52λNA，焦深ΔZ＝λ／2NA2。
可见，当NA值增大时，光斑直径d减小，有利于提高测量头的横向及垂直分辨率，但在物镜直径一定的情况下，此时镜头更为靠近被测工件表面，不利于测量头的调整，且系统波象差会随NA值的增大而加大，故需对NA值进行优化选择。
显微镜的分辨力的大小由物镜的分辨力来决定的，而物镜的分辨力又是由它的数值孔径和照明光线的波长决定的。当用普通的中央照明法（使光线均匀地透过标本的明视照明法）时，显微镜的分辨距离为d=0.61λ/NA。
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