洁净室悬浮粒子的测试方法

为了达到对悬浮粒子洁净度的评定，在日常洁净室环境中，悬浮粒子的测试是必不可少的。今天，宏瑞科技就“洁净室悬浮粒子的测试方法”作了以下总结：

一、适用范围：适用于洁净区中悬浮粒子的监测和洁净区等级的验证

二、检测仪器：光散射粒子计数器（上海瑞宏激光尘埃粒子计数器）

三、测试前准备：

1. 洁净室的温度就保持在18℃-26℃，相对湿度应控制在45%-65%之间

2. 风速或压差的测试应符合要求

3. 静态测试时，室内测试人员不得多于2人

4. 对单向流测试应在洁净空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始

5. 对单向流测试应在洁净空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始

6. 采样点数目如下图：

注：表中的面积对于单向流洁净室指的是送风面积，对于非单向流洁净室指的是房间面积。

7. 采样点的位置一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置

8. 对任何小的洁净室，采样点的数目都不得少于2个，总采样次数不得少于5次，每次zui小采样量如下图：

9. 布置的采样点应避开回风口，采样时测试人员应在采样口的下风侧

四：结果评定

判断悬浮粒子洁净度级别应同时满足以下两个条件：

A：每个采样点的平均悬浮粒子浓度应小于等于规定的级别界限，即A_i≤级别界限

B：全部采样点的悬浮粒子浓度平均值均值的95%置信上限应小于等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限