1、常用非接触测厚仪主要为激光测厚仪和电涡流测厚仪 ,顾名思义就是测量仪器与被测物体非接触测量 。
2、接触测厚仪主要为机械式测量是需要通过点与点或面与面接触后通过位移差来测量厚度。

薄膜、薄片厚度测试又该如何去选择?
1、非接触式测厚设备对测试试样都有一定的选择性,例如激光式测厚仪在适合的领域中能达到较高的测量精度,但用于检测表面有着不同光泽度的试样时会有较大的测试误差,同样该方法的测厚仪对试样是否透明以及材料表面平整度(薄膜表面看似平整,放大后都是呈现一定凹凸)也有着比较强的选择性。电容或电涡流式的测厚仪对金属及非金属的测试有着较大的误差。总之,非接触式测厚仪都有着自己擅长的检测领域,在薄膜和金属方面测试数据还是不能满足的。
2、机械式测厚仪是一种接触式测厚设备,多采用高精度传感器,因为它的测试只和微小位移有关,所以对试样没有选择性。按照薄膜厚度国标GB/T6672要求测量面必须保证对薄膜材料表面施加0.1N-0.5N负荷压力,机械式测厚仪的测试精度主要取决于位移传感器的精度,环境温度和风速会影响传感器的精度,因此必须在实验室环境内使用。
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