目的是获得深度-成分分布曲线或深度方向元素的化学态变化情况。
常用离子溅射法:用惰性气体离子束轰击样品,逐层剥离样品表面,然后对表面进行分析。
目的是获得深度-成分分布曲线或深度方向元素的化学态变化情况。常用离子溅射法:用惰性气体离子束轰击样品,逐层剥离样品表面,然后对表面进行分析。......
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