| 仪器名称: | 金相显微镜 |
| 仪器编号: | 11001102 |
| 产地: | 日本 |
| 生产厂家: | 奥林巴斯 |
| 型号: | MX51 |
| 出厂日期: | 201009 |
| 购置日期: | 201101 |
| 所属单位: | 集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析 |
| 放置地点: | 微电子所新所一层测试间 |
| 固定电话: | |
| 固定手机: | |
| 固定email: | |
| 联系人: | 包艳琳(010-62784044,13020075088,baoyl@tsinghua.edu.cn) 窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn) |
| 分类标签: | 集成电路 样品观测 半导体工艺 金相显微镜 |
| 技术指标: | 放大倍数50~1000X |
| 知名用户: | 王喆垚:微电子所 蔡坚:微电子所 许军:微电子所 任天令:微电子所 陈炜:微电子所 王敬:微电子所 邓宁:微电子所 吴华强:微电子所 伍晓明:微电子所 |
| 技术团队: | 设备工程师:仲涛 测试工程师:陈雅璐 |
| 功能特色: | OLYMPUS金相显微镜(放大倍数50~1000X)结合OLYCIA P3金相图像分析系统,可实现图像的采集以及参数测量(长度、角度、面积等),并具有实用的金相测量功能。OLYMPUS金相显微镜配备微分干涉器,所观察到的表面具有明显的凹凸感,呈浮雕状,对颗粒、裂纹、孔洞以及凸起等都能作出正确判断,能够容易判断明场下难于判别的结构细节或缺陷。 |
样品要求:
放大倍数50~1000X
预约说明:
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 金相显微镜 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 50.0 | |
| 金相显微镜-送样 | 元/小时 | 测试费 | 50.0 |
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