清华大学仪器共享平台泰斯肯高分辨高灵敏度表面分析系统

扫描电镜（SEM）： 二次电子分辨率： 15kV---0.7nm，1kV---1nm；加速电压：0.02 ～ 30kV; 

能谱（EDS）：能谱仪分辨率：127eV (Mn Ka); 

电子背散射衍射系统（EBSD）：取向差角分辨率：0.05度；最快在线采集速度：400点/秒；

聚焦离子束（FIB）：离子源：Xe等离子体；加速电压：3kV ～ 30kV；束流范围：1pA ～ 2mA；                                

时间飞行二次离子质谱（TOF-SIMS）： 全元素分析；检出限：优于1.5ppm；质量分辨率：优于800；空间分辨率：横向优于60nm，深度方向优于3nm；

 拉曼光谱仪（Raman）：光源波长：532nm，633nm，785nm；激光功率连续可调；成像空间分辨率：XY方向优于360nm（532nm光源），Z方向优于1000nm（532nm光源）。

材料中心高分辨高灵敏度表面分析分室现有主管工程师一人，合同制人员一人。其中主管工程师有多年大型设备测试分析和开放管理的经验，保证设备的全时全面开放。

高分辨高灵敏度表面分析系统是在传统电镜分析基础上，集成了聚焦离子束（FIB），拉曼光谱（Raman），飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS），电子背散射衍射（EBSD）和能谱（EDS）等配置，将形貌、能谱、光谱、质谱集成为一个系统，实现对样品进行多方位的综合表征。上述配置和附件既可以独立使用，也可以相互联合使用，能满足多种材料的表面测试分析及加工需求。例如，扫描电镜、能谱和电子背散射系统联用，可以原位得到样品指定区域的形貌、成份以及晶体取向、晶粒大小及相分布等信息；也可以将扫描电镜和拉曼光谱仪联用，可以进行形貌观察和相鉴定及相结构分析等。