| 仪器名称： | 场发射扫描电镜 |
| 仪器编号： | 05002783 |
| 产地： | 荷兰 |
| 生产厂家： | FEI |
| 型号： | Sirion200 |
| 出厂日期： | 200403 |
| 购置日期： | 200502 |
| 所属单位： | 物理系>纳米中心>纳米中心测试平台 |
| 放置地点： | 纳米楼电镜室 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 顾小华（010-62792435,13683096996,guxhua@mail.tsinghua.edu.cn） 张丽娜（010-62792435,13693252406,zhanglina@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 电子显微镜 |
| 技术指标： | 型号：Sirion 200 加速电压：200V－30KV； 分辨率：10KV，1.5nm；1KV，2.5nm；EDAX 能谱仪：133eV，Be－U。 热场发射电子枪，配能谱仪，可用于各种固体材料的表面形貌分析与测量；用于材料的化学成份及相关成份分析。 |
| 知名用户： | 校内用户：清华大学化学系、物理系、材料系、环境系、核研院、航院、精仪系、机械系、微电子所、医学院、工物系、热能系、力学系、建筑系、水利系、土木系、电机系、基础工业训练中心等二十余个院系。校外用户：北京大学、中科院国家纳米中心、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地质大学、成都电子科技大学、上海交通大学、同济大学等多个课题组 |
| 技术团队： | 属于纳米中心测试加工平台，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业的实验员，还有纳米中心厂务部门支持仪器的外部水，电，气的供应等。 |
| 功能特色： | 热场发射电子枪，配EDAX能谱仪，高真空,系统稳定性好,分辨率高,可用于各种固体材料和器件的表面形貌分析与测量；以及材料的化学成份及相关成份分析。低电压性能稳定,特别适用于单壁碳纳米管等半导体材料的形貌表征.二次电子像有HR，UHR两种分辨率模式，能谱分析包括成分的点，线分布，面分布分析等。 |
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| EDS测试费 | 元/次 | 测试费 | 100.0 | |
| STEM测试费 | 元/次 | 测试费 | 100.0 | |
| 扫描电镜测试费 | 元/小时 | 测试费 | 300.0 |
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