清华大学仪器共享平台HitachiS5500高分辨场发射扫描电镜

该设备性能指标：加速电压：200V-30kV：

探测器SE、BSE、BF、DF、EDS ；

分辨率：0.4nm/30KV，1.6nm/1kV；  

能谱仪：能量分辨率：127eV 探测范围：B4-U92 

扫描透射（BF/DF）：分辨率：0.5nm/30kV （BF）； 

利用该设备能够进行样品表面形貌分析同时可以进行成分分析。

适用于不耐辐照的生物样品、纳米材料透射成像分析。

北京电子显微镜中心建设了一支由国际知名的电子显微学和材料科学专家为学术带头人、由通晓电子显微分析理论和技术及材料科学等相关理论的优秀研究和技术人员组成且结构合理的人才队伍，由固定和客座研究人员组成，承担科学研究、共享服务人才培养、设备管理和维护等具体工作，固定科研和技术人员共10人，其中院士1人，教授2人，副教授2人，高级工程师4人（博士一人，硕士两人，学士一人），工程师3人（博士）。设备运行采取责任教授和责任工程师负责制。

设备是一台高分辨分析扫描透射电镜，其分辨率为0.4nm，可以得到图像同时得到成分。其可以进行表面形貌观察也可以进行STEM分析，可以得到高分辨成分像。其加速电压30Kv对样品损伤小，可以实现一般透射电镜不能分析观察的样品（辐照损伤）的观察，尤其是纳米颗粒分析与观察、不耐辐照样品的TEM的明暗场像观察和分析。由于电子束能量低，其图像衬度好。