| 仪器名称： | 扫描电镜 |
| 仪器编号： | 02012309 |
| 产地： | 日本 |
| 生产厂家： | 日本电子公司 |
| 型号： | JSM-6460LV |
| 出厂日期： | 200208 |
| 购置日期： | 200210 |
| 所属单位： | 材料学院>先进材料薄膜材料实验室 |
| 放置地点： | 逸夫技科楼1134室 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 曾飞（010-62795373,18600206173,zengfei@mail.tsinghua.edu.cn） 潘峰（010-62784546,13263457400,panf@mail.tsinghua.edu.cn） 刘兴涛（010-62795910,13910534338,liuxingtao@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 扫描电镜 形貌 能谱 元素分析 |
| 技术指标： | 二次电子分辨率：3.0nm(30KV，WD8mm)；放大倍数：5~300,000；5轴马达驱动 |
| 知名用户： | Luo J T, Pan F, Fan P, et al. Cost-effective and high frequency surface acoustic wave filters on ZnO: Fe/Si for low-loss and wideband application[J]. Applied Physics Letters, 2012, 101(17): 172909.Fu S, Li Q, Gao S, et al. Quality-enhanced AlN epitaxial films grown on c-sapphire using ZnO buffer layer for SAW applications[J]. Applied Surface Science, 2017, 402: 392-399. |
| 技术团队： | 用专职的工程师负责管理维善仪器，多名助教研究生 |
| 功能特色： | 显微结构的分析，纳米尺寸的研究 |
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