| 仪器名称： | 超声检测设备 |
| 仪器编号： | 12006229 |
| 产地： | 德国 |
| 生产厂家： | PVA |
| 型号： | KSI SAM300 |
| 出厂日期： | 201110 |
| 购置日期： | 201204 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺 |
| 放置地点： | 微电子所新所一楼微纳平台 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 马海艳（010-66668888,15911104624,mahaiyan@tsinghua.edu.cn） 胡杨（010-62798268,13810173486,hyang@tsinghua.edu.cn） 王谦（010-62794957,13810134838,wang-qian@tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 无损检测 集成电路 封装 |
| 技术指标： | 探头规格：15MHZ、 30MHZ、 75MHZ、 100MHZ、 150MHZ、 230MHZ、 400MHZ |
| 知名用户： | 清华大学，北京大学，中科院微电子所，中科院电工所 |
| 技术团队： | 封装专区拥有相关先进仪器设备20余台套，多为进口设备，按功能主要分为：加工、测量/观察、环境可靠性测试及失效分析。部分设备面对校内外开放，可承担学校、科研单位和国内外企业的加工、测试及分析等技术服务与咨询。 |
| 功能特色： | 超声扫描显微镜主要用于检测并分析半导体封装技术开发中的元器件内部分层等缺陷，对X-ray不能分辨的裂纹及封装技术研发过程中粘接层、填充层、涂镀层、结合层通过无损扫描进行分析。 |
样品要求：
测试样品需放在去离子水中检测
预约说明：
封装工艺所有的设备均需要提前预约，预约前请联系设备管理员，讨论样品信息和预约时间，再在网上进行预约。
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 低频探头15、30、75、100 、150MHz | 元/小时 | 自主上机机时费 | 800.0 | 固体内部缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 低频探头（150MHz及以下）自主上机测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 800.0 | 1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 高频探头230MHz、400MHz | 元/小时 | 自主上机机时费 | 1200.0 | 固体表面/亚表面缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 高频探头（230MHz及以上）自主上机测试费 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 1200.0 | 固体表面/亚表面缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 低频探头（150MHz及以下）送样测试费 | 元/小时 | 测试费 | 800.0 | 固体内部缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 高频探头（230MHz及以上）送样测试费 | 元/小时 | 测试费 | 1200.0 | 固体表面/亚表面缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
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