| 仪器名称： | 高分辨场发射扫描电镜 |
| 仪器编号： | 20009957 |
| 产地： | 英国 |
| 生产厂家： | ZEISS |
| 型号： | GeminiSEM 300 |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2020-08-26 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>测试与分析 |
| 放置地点： | 微电子与纳电子学系一层微纳加工平台 |
| 固定电话： | 01062784044-216 |
| 固定手机： | 13552207495 |
| 固定email： | chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn |
| 联系人： | 陈雅璐（010-62782076,13552207495,chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn） 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 能谱仪 高分辨 扫描电镜 |
| 技术指标： | 配备高分辨二次电子探头（Inlen SE）,二次电子探测器（ETSE），背散射探头，以及能谱仪和导航定位。 分辨率：0.7nm 15kV（二次电子），1.2nm 1kV（二次电子）。 放大倍数12-2000000倍。 加速电压和着陆电压可调范围：0.02-30kV，10V步进。 工作距离：0.1mm-50mm，连续可调。 样品台最大移动行程：X/Y=130mm，Z=50mm，T=-4°~70°，R=360°。 样品仓尺寸：内部直径330mm，高度270mm，最大样品尺寸200mm。 真空度：电子枪优于10-7Pa，样品仓优于10-4Pa。 |
| 知名用户： | 尤政：精仪系 陈兢：北京大学信息学院朱荣：精仪系 严清峰：化学系 任大海：精仪系 梁桂强：机械系 钱鹤：微电子所 吴华强：微电子所 蔡坚：微电子所 王喆垚：微电子所 伍晓明：微电子所 王敬：微电子所 邓宁：微电子所 刘泽文：微电子所 |
| 技术团队： | 测试工程师：陈雅璐 设备工程师：鲁勇 |
| 功能特色： | 配备高分辨二次电子探头（In-lens探头），能谱仪。 具备大尺寸样品测试条件。 具备导航定位功能。 |
样品要求：
样品直径小于200mm。
导电性较高。
预约说明：
该设备需预约使用，按预约时间计费，如有特殊情况请在预约时间开始之前与设备管理员联系取消预约。单次预约时间开始30min后未使用该设备的默认放弃本次预约时间，其他用户可以在该时间段使用本设备。需要管理员辅助的请选择”需要管理员辅助“。
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| SEM自主上机 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 700.0 |
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