清华和镭测共同开发双折射双频激光干涉仪实现批量生产

　　 日前，记者从清华大学精密仪器系获悉，该系教授张书练课题组进行原理研究并由北京镭测科技有限公司开发生产的双折射双频激光干涉仪具有优良的可靠性和先进的技术指标，其中，双折射双频激光干涉仪的分辨率达到1纳米(十亿分之一米)，线性测量长度范围0~70米，非线性误差小于1纳米，测量速度超过2米。

　　双频（两频率）激光干涉仪是科学研究、光刻机、数控机床、航空航天、舰船等行业都离不开的光学“尺子”。它主要用于测量零部件的尺寸、角度、位置、直线性，也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度，进行误差补偿的基本仪器，更是先进制造业的重器。

　　据了解，双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是自制专用激光器，称为塞曼双频激光器，但不对外供应。而我国的双频激光干涉仪只能从进口普通激光器进行选择，其国产化困难一直是先进制造业的痛点。

　　鉴于此，清华大学精密仪器系组织研发，其发明的双折射原理的双频激光器比国内外传统的塞曼双频激光器的激光功率高一倍、频率间隔大一倍或两三倍、没有两个频率之间耦合串混。

　　专家表示，双折射双频激光器的使用带动了干涉仪整机的光机电系统创新设计，使双折射双频激光干涉仪具有便携、方便、鲁棒等优良性能。

　　据悉，该双折射双频激光干涉仪于2018年试产，并在应用中试错、改进，2020年初批产并得到快速推广。