牛津仪器推出五个腔体集成自动系统

　　作为行业领先的系统制造商--牛津仪器等离子技术部，最近为全球领先的太阳能电池制造商Robert Bosch推出了一款五个腔体的集成自动系统。该System100Pro的沉积工具是一个有着能够提供多种沉积技术能力并且允许在不破真空状态下完成多个制程步骤的"六向处理器"。

　　牛津仪器公司的集成自动系统为处理程序和处理模块提供了高真空的选项，从而减少污染产生的程度，以及对集成不同沉积技术的能力。交付给Bosch的系统还包括一个选项可达700℃的高温基板表和智能、灵活的电动坡道，以及低功耗的等离子停止选项，从而减少在程序启动时的潜在危害。

　　牛津仪器等离子技术部门销售和客户支持总监Mark Vosloo表示，"为知名的客户提供包含五个腔体自动系统，使我们能够成功地结合多种技术到集群里，例如能够同时运行ALD和等离子CVD沉积氧化铝集群。随着对可再生能源需求的增加趋势，我们正在使自己成为在持续增长的PV R&D市场的一个重要供应商。

　　总部设在德国Stuttgart的Bosch公司是一家开发，生产、销售的晶片和硅薄膜太阳能电池具有高输出稳定、输出容差小的特点。该公司已经购买了牛津仪器的集成自动系统用于研究和开发。　　

　　关于牛津

　　牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津，现已成为世界领先的科学仪器跨国集团公司，是光谱仪、测厚仪、能谱仪、等离子设备、超导超低温产品、核磁共振仪、低温泵压缩机、X射线管等方面的专家，拥有分布于英国、美国、芬兰、丹麦、德国和中国的十几个工厂以及遍及全球的分公司或办事处。

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