电子探针仪，学名应该是扫描隧道显微镜（scanning tunnel microscopy，STM）,它的工作原理是用一个针尖在离样品表面极近的位置慢慢划过，样品和针尖上加有恒定电压，随着针尖和样品起伏不平的表面原子距离的改变，二者间的电流会有变化，记录这个电流的变化进行处理后，可以得到表面的形貌像，这是其中的一个工作方式，还有针尖位置不变，电压变化的工作方式等。另外STM发展的非常蓬勃，衍生出很多其他类似的分支电镜，如AFM等。
扫描电子显微镜（scanning electron microscopy,SEM),是通过电子束对样品表面进行反复的扫射，通过探头收集反射回来的二次电子和背散射电子来进行成像。
二者相同的地方则是主要用作测样品表面形貌的仪器
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这款扫描电镜（SEM2000）运行状态良好。设备软件操作界面简洁，自动化程度较高，特别是在光学导航、一键成像、防撞设计等物功能，让新手操作人员能快速掌握仪器的操作使用。——科鉴检测平台中心主任张增元致......
对于HEM6000，国仪量子能在这么短的时间内推出如此优秀的产品，着实让我惊喜。——西湖大学生物医学实验技术中心主任王亚林博士西湖大学是一所定位于高起点、小而精、研究型的新型高等学校。为服务最尖端的基......