轴承：机械式轴承 / 空气式轴承 / 空气式轴承
旋转模式下最小扭矩(muNm)： 250 / 0.1 / 0.05
振荡模式下最小扭矩(muNm): --/ 0.1 / 0.01
振荡/振荡模式下最大扭矩(mNm)：125 / 150 / 200
最小速度（CSS)：10-7 rpm
最小速度（CSR)：10-7 rpm
最大速度： 3000rpm
最小角频率： 10-7 Hz
最大角频率： 628rad/s
轴承：机械式轴承/空气式轴承/空气式轴承旋转模式下最小扭矩(muNm)：250/0.1/0.05振荡模式下最小扭矩(muNm): --/0.1/0.01振荡/振荡模式下最大扭矩(mNm)：1......
