离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。
中文名：离子注入机
外文名:Ion implanter
属 性:加速器应用领域金属表面改性、集成电路制造等
