离子注入机概述
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。 中文名：离子注入机 外文名:Ion implanter 属 性:加速器应用领域金属表面改性、集成电路制造等......阅读全文
离子注入机概述
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。 中文名：离子注入机 外文名:Ion implanter 属 性
离子注入机的应用
离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了
离子注入机的原理
离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成，可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位，作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子，当外来电子的能量高于原子的电离电位时，通过
离子注入机的结构组成
离子注入机由5部分组成：离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔。 1、离子源 离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子，使之电离。待注入的杂质源如果是气态，便可以直接引入到离子源的电场中，如果是固态，则还需加热蒸发，变为气相后引入到这个电场中。气相的杂
离子注入机有哪些类型
常用的生产型离子注入机主要有三种类型：低能大束流注入机、高能注入机和中束流注入机，如下表所示：离子注入机类型离子注入机类型能量范围注入剂量范围工艺中的主要应用低能大束流离子注入机0.2keV~100keV超浅结、源漏注入、多晶硅栅极注入等高能离子注入机~MEV深埋层等 低能大束流离子注入机：大
离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖
记者29日从中国电子科技集团获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。 据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，28纳米则是当前芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。 电科装备连
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备，热处理设备（合金炉，退火炉），掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（
低温泵简介
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子注入黄豆种子
利用200kV 离子注入机产生的 Fe~+、Cu~+和 Zn~+3种重离子分别对黄豆种子进行直流注入,以扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子的注入深度。测量定结果表明,Fe~+的最大注入深度未超过18μm,Cu~+、Zn~+的最大注入深度可达25μm。
什么是离子源
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。
离子束的离子源的主要参数
①离子掺杂与离子束改性。从20世纪60年代开始，人们将一定能量的硼、磷或其他元素的离子注入到半导体材料中，形成掺杂。掺杂的深度可用改变离子的能量来控制；掺杂的浓度可通过积分离子流强度来控制。离子注入方法的重复性、可靠性比扩散法好。离子注入掺杂在半导体大规模集成电路的生产中已成为重要环节，用离子注入法
先导基电完成对伍丰仪器的战略并购－川越周期担任本次交易独家财务顾问
近日，先导基电（600641.SH）通过全资子公司上海万业元创科技有限公司完成对上海伍丰科学仪器有限公司的100%股权收购，川越周期担任本次交易的独家财务顾问。（资料来源：企查查） 一、标的方介绍：上海伍丰科学仪器有限公司 上海伍丰科学仪器有限公司（简称“伍丰仪器”）成立于1998年，成立至
二次资源利用让难熔金属“熔炉中重生”
钨、钽、铌、铼和钼……难熔金属在原子能、航空航天、电子信息和医学诊疗等涉及国家安全和国计民生的高科技领域具有极为重要的用途。但是，近10年来，世界钨工业所消耗的大部分钨资源来自中国，造成我国这类优质战略资源的储藏量大幅下降。 26日，记者从北京理工大学获悉，十年磨一剑，由北京理工大学、中国船舶
我国碳化硅器件制造关键装备研发取得重大进展
以碳化硅（SiC）为代表的第三代半导体产业是全球战略竞争新的制高点。SiC器件具有极高的耐压水平和能量密度，可有效降低能量转化损耗和装置的体积重量，满足电力传输、机车索引、新能源汽车、现代国防武器装备等重大战略领域对高性能、大功率电力电子器件的迫切需求，被誉为带动“新能源革命”的“绿色能源”器
离子源如何清洗
离子源的清洗方法为：对金属的清洗和非金属部件的清洗。对金属部件来说，首先用棉签湿水后沾上专门的氧化铝粉（菲林跟有配）来摩擦金属部件。注意不要让氧化铝粉干燥！氧化铝粉洗完后，用水浸泡金属部件，然后超声15分钟，然后把水倒掉，用丙酮浸泡，再超声15分钟，烘干就可。对于非金属部件，就免掉吵声这一步骤。离子
磁强计概述
磁强计（英文名：magnetometer）是矢量型磁敏感器。用于测定地磁场的大小与方向，即测定航天器所在处地磁场强度矢量在本体系中的分量。是测量磁感应强度的仪器。根据小磁针在磁场作用下能产生偏转或振动的原理制成。而从电磁感应定律可以推出，对于给定的电阻R的闭合回路来说，只要测出流过此回路的电荷q
变流器概述
变流器是使电源系统的电压、频率、相数和其他电量或特性发生变化的电器设备。 在实际应用场合中，有些场合需要将交流电源变成直流电源，这就是整流电路。在另外一些场合则需要将直流电源变成交流电源，这种对应于整流的逆向过程，定义为逆变电路。在一定条件下，一套晶闸管电路既可以作整流电路又可作逆变电路，这种
STM概述
STM概述 1982年，国际商业机器公司苏黎世实验室的G..Binnig和HeinrichRohrer及其同事们共同研制成功了世界上第一台新型的表面分析仪器—扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope，简称STM)。STM的出现，使人类第一次能够实时地观察单个原子在物
质谱法概述
质谱法是通过将试样转化为运动的气态离子并按质荷比m/z大小进行分离记录的分析方法，所得结果即为质谱图。根据质谱图提供的信息，可以进行多种有机物及无机物的定性定量分析、复杂化合物的结构分析、样品中各种同位素的测定及固体表面结构和组成分析。质谱法是利用带电粒子在磁场或电场中的运动规律，按其质荷比m/z实
色素概述
颜色：人对眼睛视网膜接受到的光信号作出反应，在大脑中产生的某种感觉。 色素：食品中呈现各种颜色的物质。 色素分类： ①来源：天然色素和人工合成色素；动物色素（红血素、虾青素等）、植物色素（叶绿素、胡箩卜素、花青素等）、微生物色素（红曲色素）； ②溶解性：脂溶性和水溶性；
溶菌酶概述
是一种能水解致病菌中黏多糖的碱性酶。主要通过破坏细胞壁中的N-乙酰胞壁酸和N-乙酰氨基葡糖之间的β-1,4糖苷键，使细胞壁不溶性黏多糖分解成可溶性糖肽，导致细胞壁破裂内容物逸出而使细菌溶解。溶菌酶还可与带负电荷的病毒蛋白直接结合，与DNA、RNA、脱辅基蛋白形成复盐，使病毒失活。因此，该酶具有抗
质谱法概述
质谱法是通过将试样转化为运动的气态离子并按质荷比m/z大小进行分离记录的分析方法，所得结果即为质谱图。根据质谱图提供的信息，可以进行多种有机物及无机物的定性定量分析、复杂化合物的结构分析、样品中各种同位素的测定及固体表面结构和组成分析。质谱法是利用带电粒子在磁场或电场中的运动规律，按其质荷比m/z实
硫胺素概述
硫胺素，即维生素B1.它在生物体内的辅酶形式是硫胺素焦磷酸 （TPP）。 硫胺素焦磷酸过去也称为辅羧酶。它在动物糖代谢中起着重要作用，例如丙酮酸在脱羧作用时需要它医学教育|网。在TPP缺少的情况下，代谢中间物丙酮酸不能顺利脱羧会积聚于血液和组织中而出现神经炎症状。TPP 还是其他酶例如 -酮酸氧
抗体概述
抗体的本质是免疫球蛋白（immunoglobulins），指具有抗体（Ab）活性或化学结构，与抗体分子相似的球蛋白。而抗体药物则是将特异性地针对某种疾病的抗体人源化改造后得到的靶向药物。免疫球蛋白一般是由两条相同的轻链和两条相同的重链通过链间二硫键连接而成的肽链结构，它分为五类，即免疫球蛋白G（Ig
电泳概述
电泳是在溶剂中通过电场转移带电分子，任何带电的离子或者基团放置在电场中都将会迁移。除非在它们的等电点，大多数生物聚合物在任何pH值时都带有净电荷，它们将会以与电荷密度成比例的方式移动。分子在电场中的迁移取决于电场的强度、净电荷、分子的大小和形状、离子强度、粘度和分子移动介质的温度。作为一种分析工具，
摇床概述
摇床属于流膜选矿类设备，由早期的固定式和可动式溜槽发展而来，直到20世纪40年代，还划为溜槽类，到了20世纪50年代，由于摇床得到广泛应用，才以其不对称性往复运动为特征而自成体系。 1890年美国制成用于选煤的摇床，利用打击方法造成床面的不对称往复运动；19世纪末由威尔弗利研制出选矿用的、用偏
输血概述
输血是指将人类本身所拥有的血液成分输入患者体内，以达到治疗目的，所经是和给予药物不同的一种特殊治疗手段，随着现代科学的发展，输血医学逐渐形成一门独立的分支学科，输血的意义也有新的变化。现代输血的内容已不仅是输入自然的血液成分，它还包括以现代生物技术生产的与血液相关的制品，如用DNA重组技术生产的各种
晶闸管概述
晶体闸流管（Thyristor）又称做可控硅整流器，曾被简称为可控硅；1957年美国通用电器公司开发出世界上第一晶闸管产品，并于1958年使其商业化。晶闸管是PNPN四层半导体结构，它有三个极：阳极，阴极和门极；晶闸管工作条件为：加正向电压且门极有触发电流；其派生器件有：快速晶闸管，双向晶闸管，
鼠疫概述
一直觉得鼠疫就像个传说，想着已经绝迹了，但2019年11月12日，北京确认接诊两名来自内蒙的鼠疫患者，消息一出，人心惶惶，好在整个过程控制比较好，目前感染者好转，隔离的相关人员到目前也未见明显异常。所以鼠疫可防可控，不要恐慌，科学对待，及时发现、及时上报、及时隔离与治疗是关键。 什么是鼠疫？ 鼠疫是
共计1.2亿元，东南大学公布2022年11至12月政府采购意向
近日，东南大学公布2022年11至12月政府采购意向，欲花费1.2亿元采购仪器设备。为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将东南大学企业信息2022年11至12月政府采购意向公开如下：序号采购单位采购项目名称采购品目