自动拼图软件（AIM）在SEM大景深样品拍摄中的应用

自动拼图（Automated Image Mapping）软件（图1）选件是飞纳电镜的又一功能强大的实用软件。其主要优势总结如下：

• 大范围内自动收集多张图片

• 生成大面积视野的图片

• 自动生成高分辨率、高清晰度大图

• 操作简单，“选择区域”然后“扫描”即完成

以下举例说明其各个优势及其应用场合：

• 大范围多张图片的收集对于ParticleMetric颗粒系统、PoroMetric 孔洞系统的作用

下图2(a) 是颗粒样品的AIM拼图结果，这张图的分辨率达到了9631×6683，占用空间达到了31.8Mb，采用70张图拼成，单张图片的效果见图2(b)。此图只需要选好区域之后，软件自动生成即可。颗粒系统和孔洞系统软件可以把 AIM 的结果全部导入，一次zui多自动处理1000张图片，统计颗粒或孔洞的的直径、圆度等数据，自动生成统计报告。