| 仪器名称： | 薄膜溅射沉积系统 |
| 仪器编号： | 16041495 |
| 产地： | 中国 |
| 生产厂家： | AJA |
| 型号： | ATC 2200-V |
| 出厂日期： | 201605 |
| 购置日期： | 201612 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺 |
| 放置地点： | 微电子所新所一楼108 |
| 固定电话： | |
| 固定手机： | |
| 固定email： | |
| 联系人： | 窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） 韩英（010-62782076,18601218109,hanying@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 微纳加工 磁控溅射 材料制备 |
| 技术指标： | 本底真空：10e-8 torr；成膜均匀性<3%；同时装载5个靶位； |
| 知名用户： | 吴华强、钱鹤、宋成、薛其坤 |
| 技术团队： | 窦维治、韩冰、魏治乾 |
| 功能特色： | 可用于制作铁磁材料薄膜、氧化物薄膜等 |
样品要求：
兼容4英寸、6英寸、8英寸圆片
预约说明：
实验室的设备采用网上预约的方式、以先约先用为基本原则
取消预约需提前2个小时通过网上取消预约
| 项目名称 | 计价单位 | 费用类别 | 价格 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 薄膜沉积 | 元/小时 | 自主上机机时费 | 450.0 | |
| 送样 | 元/小时 | 测试费 | 450.0 |