质析毫微·谱绘万象——半导体痕量成分检测技术交流会

　　由中国物理学会质谱分会，北京雪迪龙科技股份有限公司联合主办，中国科学院上海应用物理研究所，分析测试百科网，中国仪器仪表学会分析仪器分会质谱仪器专家组协办的质析毫微·谱绘万象——半导体痕量成分检测技术交流会将于2025年7月17日在上海·中国科学院上海应用物理研究所学术交流中心举行。

　　当前全球半导体产业竞争已进入纳米级工艺时代，痕量杂质检测成为决定芯片性能、良品率及可靠性的核心环节。在单晶硅制备、光刻胶纯化、刻蚀气体分析等关键流程中，十亿分之一（ppb）甚至万亿分之一（ppt）级别的杂质都可能引发器件失效。二次离子质谱（SIMS）、气相色谱（GC）、ICP-MS、光腔衰荡光谱（CRDS）等尖端技术凭借原子级灵敏度与多维度分析能力，成为破解痕量成分检测难题的核心工具。

　　然而，我国高端科学仪器长期依赖进口，尤其在半导体领域，检测设备的自主可控面临严峻挑战：核心部件（如高亮度离子源、超精密质量分析器）受制于人，复杂场景下的算法模型尚待突破，设备稳定性与国际先进水平存在代际差距。随着国家《高端科学仪器自立自强专项行动》的推进，加速国产仪器技术迭代、构建产学研用协同创新链，已成为支撑半导体产业链安全的战略需求。

　　在此背景下，本次技术交流会以 “质析毫微·谱绘万象”为愿景，聚焦SIMS、GC、ICP-MS、CRDS等技术的国产化突破路径与产业化实践，汇聚学术界前沿成果与企业界工程经验，旨在打通“技术研发-场景验证-商业应用”闭环，为我国半导体检测技术自立自强注入新动能。

　　主办单位：

　　中国物理学会质谱分会

　　北京雪迪龙科技股份有限公司

　　协办单位：

　　中国科学院上海应用物理研究所

　　分析测试百科网

　　中国仪器仪表学会分析仪器分会质谱仪器专家组

　　会议时间：2025年7月17日（全天）

　　会议地点：中国科学院上海应用物理研究所学术交流中心（上海市）

　　会议主题：半导体痕量成分检测技术

　　拟邀对象：科研院所、高校专家学者，半导体产业链企业技术负责人，检测仪器研发精英等。

　　官网链接：https://c.antpedia.com/64426/introduction.html

　　一、会议亮点

　　★ 主题报告：行业专家分享技术前沿与实践案例

　　★ 专题研讨：产学研多方共议国产仪器技术升级路径

　　★ 交流对接：促进行业资源整合与合作

　　二、会议日程

　　三、会议联系人

　　刘会兰

　　电话：18942663827

　　邮箱：huilan_liu@antpedia.net

　　赵慧君

　　电话：17721272659

　　邮箱：huijun_zhao@antpedia.net

扫码报名，直通会场

　　中国物理学会质谱分会

　　北京雪迪龙科技股份有限公司

　　2025.6.27