贵金属集团国家重点实验室在镍铂靶材结瘤形成机制研究中取得新突破

　　近日，贵金属集团稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室靶材研发团队在贵金属靶材应用基础研究领域取得了重要进展。其项目研究为深入理解磁控溅射过程中镍铂靶材表面结瘤的形成机制提供了全新的视角，为解决溅射镀膜中的关键技术难题提供了理论依据。

　　据了解，磁控溅射过程中镍铂靶材表面结瘤影响着镀膜质量和靶材寿命，长期以来，一直是磁控溅射领域亟待解决的技术瓶颈。靶材团队经过2年多的深入研究，发现靶材表面的缺陷区域是导致结瘤形成的关键因素。

　　本项目研究得到了国家重点研发计划、云岭兴滇英才计划和云南贵金属实验室项目等的支持，研究成果“Mechanisms of Nodule Formation on Ni-Pt Targets During Sputtering”被Elsevier出版的国际知名期刊Applied Surface Science(影响因子IF6.3，中科院二区TOP期刊)正式接收发表。成果的取得为优化镍铂靶材质量提供了重要的理论基础，为提高靶材成品率提供了关键支撑，解决行业共性难题，进一步巩固了贵金属集团在贵金属靶材学术及产品研发领域的国内领先地位。