通过扫描电镜成像观察不同的微结构

通过扫描电镜成像观察不同的微结构

通过调整一些蚀刻参数，例如时间(如图3所示的SEM图像)和KOH浓度(如图4所示)，可以制作出不同形状的微结构。

在*种情况下，温度影响到微金字塔的高度和墙壁结构。通过改变浓度，微观结构的形状从正方形变为八角形，方角变为了圆形。

图3: 通过 SEM 对在不同时间段KOH 蚀刻用残馀层作为掩模的成像

图4: 通过SEM 图像了解不同浓度的 KOH蚀刻用残留层作为掩模

从图2、图3和图4中可以看出，扫描电镜 (SEM) 非常适合对微观结构进行成像。它有助于了解单个因素及其在整个蚀刻过程中的影响，从而有助于构建微结构的形状和尺寸。在全球范围内，SEM提供了一种强大的方法来获得视觉表征，并通过调整制造技术的参数 (在本例中是KOH蚀刻) ，来证明微结构的质量差异性。