铂悦仪器中标宁波材料所等离子汽相沉积设备

铂悦仪器中标中科院宁波材料所PECVD单腔体及多腔体等离子汽相沉积设备两套

　　宁波材料所位于宁波市高教园区北区，是中国科学院在浙江省建立的首家国立研究机构，建立新所旨在实施新时期中科院办院方针、加强国家创新体系中各单元协作、推进知识创新工程第三阶段工作，及全面落实科学发展观、加速区域创新体系建设、大幅提升自主创新能力；同时，以制造业和材料产业的发展需求为导向，以材料科技进步为牵引，瞄准世界前沿，面向全国需求，立足宁波、服务浙江、辐射“长三角”。

　　PECVD是借助微博或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，具有基本温度低；沉积速率快；成膜质量好，针孔较少，不易龟裂等优点。

　　同时我们铂悦公司还提供台阶仪、光学轮廓仪、AFM、椭偏仪、QE/IV测试仪、直读光谱仪、合金分析仪、拉曼光谱仪、三坐标、影像测量仪等。