陶氏化学工厂爆炸牵动半导体关键耗材生产

　　陶氏化学美国路州厂在美国时间7月15日传出爆炸起火事件，虽无人伤亡，惟该厂生产光刻胶、抛光垫／液等半导体关键耗材，主要供成熟制程晶圆制造使用，牵动业界神经，联电、世界、力积电等中国台湾晶圆代工成熟制程相关厂商密切关注后续发展，目前均评估不影响生产。

　　陶氏化学为全球半导体关键化学材料重要供应商，高纯度化学品产品线提供一系列光刻材料，包括光刻胶、光刻辅助剂等，也供应全球重要的CMP材料包括抛光垫、抛光液等。

　　从产业地位来看，陶氏化学在全球光刻胶市占率约17%，CMP抛光垫市占79%，CMP抛光液市占率约15%左右。

　　半导体业界人士表示，陶氏化学光刻胶主力应用在成熟制程，对先进制程影响相对有限，对成熟制程影响有待观察，并牵动非半导体的其余化学品耗材。

　　目前看来，中国台湾晶圆制造商都有多元耗材来源。以台积电为例，过去南科晶圆14B厂曾遭遇光刻污染事件，当时公司就已对相关化学品管控，积极评估导入更多元的光刻供应商，日系厂商因品质稳定顺势受到青睐。

　　台积电也是成熟制程主力供应商之一，惟公司目前处于法说会前缄默期，业界评估，台积电有多元供应商，此次陶氏化学工厂爆炸事件，对台积电应该没有直接影响。

　　世界先进、联电、力积电等台厂也密切关注相关事件动态。联电初步评估，相关耗材产品都会有安全库存，陶氏化学工厂爆炸，不会对联电旗下工厂造成影响。力积电则说，目前公司营运不受相关事件影响。

　　另外，渠道商华立、崇越均代理日本原厂光刻胶与耗材，当前日系厂商在先进制程光刻胶扮演关键角色。崇越提到，光刻胶及CMP等耗材现阶段供货皆正常，不受影响；至于是否有转单效益或后续影响，须持续观察。