高分辨率成像与大束流

高分辨率成像与大束流

影响分辨率的主要因素是束斑直径。为了获得高分辨率的图像，应该尽可能地保持更小的束斑直径，以便能够阐释和描述样品更小的特征。

另一方面，对于高信噪比和高对比度分辨率，电子束拥有足够的束电流也是很重要的。由于减少了束斑大小的同时也减少了束电流，用户需要判断和选择zui适合他们目标预期的设置。

一般来说，如果需要高倍率的图像，那么束斑直径的大小应该保持zui小。如果用户只需要低放大率成像，那么就建议增加束斑直径尺寸，这样图像就会产生更多的电子信号，看起来更清晰。

图2，您可以观察到在低放大率下获得的图像，但是较大的束斑直径看起来更明亮和平滑。然而，随着放大倍率的增加，当需要高分辨率成像时，用户应该切换到较小的束斑直径，以得到好的图像。

此外，更大的束斑直径——导致更大的电子束电流——增加了样品的损害，这种现象应该被考虑进去，尤其是在对电子束敏感的样品进行成像的时候。

影响分辨率的主要因素是束斑直径。为了获得高分辨率的图像，应该尽可能地保持更小的束斑直径，以便能够阐释和描述样品更小的特征。

另一方面，对于高信噪比和高对比度分辨率，电子束拥有足够的束电流也是很重要的。由于减少了束斑大小的同时也减少了束电流，用户需要判断和选择zui适合他们目标预期的设置。

一般来说，如果需要高倍率的图像，那么束斑直径的大小应该保持zui小。如果用户只需要低放大率成像，那么就建议增加束斑直径尺寸，这样图像就会产生更多的电子信号，看起来更清晰。

图2，您可以观察到在低放大率下获得的图像，但是较大的束斑直径看起来更明亮和平滑。然而，随着放大倍率的增加，当需要高分辨率成像时，用户应该切换到较小的束斑直径，以得到好的图像。

此外，更大的束斑直径——导致更大的电子束电流——增加了样品的损害，这种现象应该被考虑进去，尤其是在对电子束敏感的样品进行成像的时候。