高纯度硅烷实现大规模生产

　　12月21日，记者从上海交通大学获悉，由该校教授肖文德领衔研发的具有自主知识产权的硅烷大规模生产新技术600吨/年中试生产项目，在河南平煤神马集团试车成功，并已连续稳定生产出纯度大于99.9999%的高品质硅烷产品。该项目的成功标志着高纯度硅烷大规模生产技术获得突破。

　　据了解，我国电子和大规模集成电路行业的芯片进口总额去年高达2300亿美元。其中，一个重要原因是缺乏高纯度晶体硅材料，而生产高纯晶体硅必须以高纯硅烷为基础。此次研究人员以化学反应工程的热门和前沿技术——多功能反应器为基础，创新性地提出了基于三氯氢硅的硅烷生产技术。今年9月建成的中试装置，一次性试车成功。

　　近日，河南省委书记郭庚茂、副省长张维宁等到项目现场考察调研，对硅烷法制备多晶硅技术产业化的模式创新给予高度肯定。