3260万！嘉庚创新实验室2023年02月至03月政府采购意向

采购内容：X射线吸收谱仪

采购数量：1套

主要功能或目标：X射线吸收谱(XAS)是一种强大的物理化学状态分析技术，可提供材料的氧化态、键长、配位环境等关键微观信息，广泛应用于催化、电化学能源和半导体器件等领域。同时，可结合原位监测技术追踪催化过程中催化剂氧化态及结构的变化，及电池充放电循环过程中电极材料氧化态及结构的变化。结合XAS和X射线光电子能谱（XPS）技术，能从实验上给出半导体等材料的电子结构信息，从而指导器件设计。

需满足的要求：1、EXAFS 能量分辨率0.5-1.5 eV2、 宽覆盖能量范围：5 keV - 18 keV； 光子通量: >3x10^5 photons/sec/eV。3.XAFS模式重复性：＜50 meV 能量尺度漂移。4.XES模式能量分辨率：1.0 -1.5 eV (7-9 keV) 等详见招标文件。

采购内容：高真空有机金属蒸发镀膜系统

采购数量：1套

主要功能或目标：可用于在玻璃基板（基板尺寸至少支持1200*1200mm）表面沉积金属、有机物、无机物等薄膜，传输系统为卧式1200mm。

需满足的要求：1.真空极限： 2.0×10-5Pa；漏率： 5×10－8Pa*L/S； 2.基片台：抽屉式结构，气动基片大挡板。样品台可加热（0-300℃，±1℃）。基片与蒸发源距离可调，电机升降调节范围 380～280mm 可调；3.蒸发源及电源：配备蒸发源 (最高温度 1500 ℃）；具有恒流和恒压二种可切换驱动模式的蒸发电源。有机蒸发束源炉及真空有机蒸发电源；

采购内容：钙钛矿 P1P2P3 激光划刻设备

采购数量：1套

主要功能或目标：用于钙钛矿太阳能电池导电层 TCO 层、钙钛矿吸收层及电极层刻线。

需满足的要求：1.整套设备需支持厚度在 2.5-3.5 之间的 1200*1000 mm 电池片激光划刻；2.整套系统包含上下料传送系统和激光划刻系统，其中 P1 激光划刻为红外纳秒，P2P3 划刻为绿光皮秒；3. P1/P2/P3 划刻线宽分别应为 ~30/40/40 um。

采购内容：用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀

采购数量：1套

主要功能或目标：用于氧化物透明导电电极的低温蒸镀。支持多种氧化物在低温状态下完成精密度较高，可控度较高的蒸镀。

需满足的要求：1. 整套系统含真空系统、等离子镀膜产生系统、电气控制系统、上/下料站所组成，以完成对基板的单面镀膜；2. 支持蒸镀面积300x300x3.2 mm；3. 蒸镀材料ITO/IWO等，基片蒸镀表面温度≤100°C，100nm时表面透光率≥88%；4.膜厚均匀性≤5%，100nm厚度时表面方阻≤50Ω/□；5. 单片蒸镀节拍时长≤320S(@IWO膜厚100nm)。详见招标文件。

采购内容：高分辨X射线衍射仪

采购数量：1套

主要功能或目标：该X射线衍射仪主要用于氮化物LED外延晶圆的结构质量表征和残余应力分析，测量的内容包括：theta/2theta, Omega/rocking curve, 快速RSM, Phi-scan 和 XRR。

需满足的要求：需要满足6英寸样品的测量，同时可以测量8英寸样品；要配备自动对准和自动测量功能，并根据模型完成数据的拟合分析；X光管功率：1.8kW，测角仪最小步长：0.0001度，样品台：chi -5~55度，Phi 360度，XY轴 -50~50mm，Z轴 10mm

采购内容：PL-Mapping 光致发光光谱仪

采购数量：1套

主要功能或目标：用于LED外延片光致发光测量的光谱仪，主要实现6寸Wafer全Mapping功能，可Mapping参数需要包括：波长、波长半波宽、发光强度、外延厚度、翘曲。

需满足的要求：主要技术参数需要有375nm、532nm等激光器，需要可激发量测蓝光到红光LED波段；单色仪, 至少两个光栅，300~1200nm；光谱探测器范围200~1000nm，解析度/pixel：0.13nm，可重复性(nm)：+/-0.52nm；厚度量测需要可Mapping，准确性差异<2%；翘曲(Bow)量测解析度: 0.1mm ~ 5mm。