1185万!南京大学采购非靶向筛选质谱仪和原子层沉积设备

A02052402 真空应用设备

南京大学企业信息拟采购原子层沉积（ALD）设备一台， 在不经过大气环境转移的情况下，可连续实现金属和介质材料的多层结构，同时保障界面清洁无损；在集成电路的核心工艺通孔填充环节，利用该设备可实现均匀、致密的阻挡层、种子层、金属层，并避免金属扩散，提高器件可靠性。主要技术指标：1. 双腔互联结构；2. 兼容200mm及以下晶圆；3. 可选择热沉积和等离子辅助沉积两种模式；4. 工艺温度范围：30-550C；5. 至少配备5路金属前驱体源和5路工艺气路。质保期：3年。

A02100407 质谱仪

南京大学企业信息拟采购高通量非靶向筛选质谱仪器一台，主要用于环境毒害污染物筛查、合成生物学学、代谢组学、药物发现等研究。产品需要配置自动化固相萃取装置，自动进样装置和高分辨质谱仪；进样通量不高于1min/sample；兼容384孔进样板；质谱仪质量范围不低于2000amu；采样速度不低于30张谱图/秒；产品质保期3年。