1185万!南京大学采购非靶向筛选质谱仪和原子层沉积设备

原子层沉积(ALD)设备项目所在采购意向:南京大学企业信息2023年7至9月政府采购意向采购单位:南京大学企业信息采购项目名称:原子层沉积(ALD)设备预算金额:700.000000万元(人民币)采购品目:A02052402 真空应用设备采购需求概况 :南京大学企业信息拟采购原子层沉积(ALD)设备一台, 在不经过大气环境转移的情况下,可连续实现金属和介质材料的多层结构,同时保障界面清洁无损;在集成电路的核心工艺通孔填充环节,利用该设备可实现均匀、致密的阻挡层、种子层、金属层,并避免金属扩散,提高器件可靠性。主要技术指标:1. 双腔互联结构;2. 兼容200mm及以下晶圆;3. 可选择热沉积和等离子辅助沉积两种模式;4. 工艺温度范围:30-550C;5. 至少配备5路金属前驱体源和5路工艺气路。质保期:3年。预计采购时间:2023-09高通量非靶向筛选质谱仪项目所在采购意向:南京大学企业信息2023年7至9月政府采购意向采购单......阅读全文

原子层沉积

原子层沉积(ALD)是一种真正的"纳米"技术,以精确控制的方式沉积几个纳米的超薄薄膜。 原子层沉积的两个限定性特征--自约束的原子逐层生长和高度保形镀膜--给半导体工程,微机电系统和其他纳米技术应用提供了许多好处。 原子层沉积的优点 因为原子层沉积工艺在每个周期内精确地沉积一个原子层,所以能

原子层沉积的研究

原子层沉积(ALD)的自限制性和互补性致使该技术对薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力,所制备的薄膜保形性好、纯度高且均匀,因而引起了人们广泛的关注。原子尺度上的ALD过程仿真对深入了解沉积机理,改进和优化薄膜生长工艺,提高薄膜质量,改善薄膜性质具有重要意义。在深入了解ALD的工艺特点及工艺过程后,针

1185万!-南京大学采购非靶向筛选质谱仪和原子层沉积设备

原子层沉积(ALD)设备项目所在采购意向:南京大学企业信息2023年7至9月政府采购意向采购单位:南京大学企业信息采购项目名称:原子层沉积(ALD)设备预算金额:700.000000万元(人民币)采购品目:A02052402 真空应用设备采购需求概况 :南京大学企业信息拟采购原子层沉积(ALD)设备

原子层沉积系统(ALD)的介绍

  是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中,新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的,这种方式使每次反应只沉积一层原子。

PICOSUN-原子层沉积系统共享

仪器名称:PICOSUN 原子层沉积系统仪器编号:16041497产地:中国生产厂家:PICOSUN型号:R200 Advanced出厂日期:201709购置日期:201612所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一楼109固定电话:固定手机:固定email:联系人:曹

原子层沉积系统(ALD)的应用

  原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型(厚度、成份和结构)  原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD),最初称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),也称为原子层化学气相沉积(Atomic Layer Chemical Vapor Depo

原子层沉积系统(ALD)的原理

  原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法(技术)。当前驱体达到沉积基体表面,它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层

PICOSUN-原子层沉积系统共享应用

仪器名称:PICOSUN 原子层沉积系统仪器编号:16041497产地:中国生产厂家:PICOSUN型号:R200 Advanced出厂日期:201709购置日期:201612所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一楼109固定电话:固定手机:固定email:联系人:曹

BENEQ-原子层沉积系统共享应用

仪器名称:BENEQ 原子层沉积系统仪器编号:09016504产地:芬兰生产厂家:BENEQ型号:TFS200-106出厂日期:200810购置日期:200910所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:曹秉军(010

对于原子层沉积系统(ALD)的研究

  原子层沉积(ALD)的自限制性和互补性致使该技术对薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力,所制备的薄膜保形性好、纯度高且均匀,因而引起了人们广泛的关注。原子尺度上的ALD过程仿真对深入了解沉积机理,改进和优化薄膜生长工艺,提高薄膜质量,改善薄膜性质具有重要意义。在深入了解ALD的工艺特点及工艺过程后

原子层沉积系统(ALD)-跟热蒸镀沉积有什么区别?

  原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法(技术)。当前驱体达到沉积基体表面,它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层

Picosun-Oy真空互联原子层沉积系统共享应用

仪器名称:真空互联-原子层沉积系统仪器编号:21029113产地:芬兰生产厂家:Picosun Oy型号:R-200 Advanced出厂日期:购置日期:2021-11-25所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>真空互联放置地点:微电子学研究所南平房实验室108号固定电话:01062784044固定

清华大学仪器共享平台Ultratech-原子层沉积系统

仪器名称:原子层沉积系统仪器编号:17016605产地:美国生产厂家:Ultratech型号:Savannah S100出厂日期:购置日期:2017-06-25所属单位:电子系>纳米光电子综合测试平台放置地点:罗姆楼B1-304室固定电话:62796594固定手机:固定email:haosun@ts

原子质谱的概念

原子质谱(AMS):原子质谱(AMS)又称为无机质谱法,是将试样原子化后采用各种离子源使其离子化,按质荷比不同而进行分离检测的方法,广泛用于各种试样中元素的定性和定量检测。

什么是原子质谱

原子质谱(AMS):原子质谱(AMS)又称为无机质谱法,是将试样原子化后采用各种离子源使其离子化,按质荷比不同而进行分离检测的方法,广泛用于各种试样中元素的定性和定量检测。

原子层沉积技术可用于合金提升态密度有效质量

中国科学院院士、西安交通大学材料学院材料强度组孙军教授,材料强度组丁向东教授、武海军教授与深圳大学合作,在探究相界面工程作用于ZrNiSn基半哈斯勒热电材料取得进展。该工作鉴于现有研究中相界面引发的载流子迁移率降低问题,以及单一能量势垒无法在全温度范围内提升态密度有效质量的局限性,团队创新性地将原子

芬兰PICOSUN公司将在波士顿举行原子层沉积系统展览

  欢迎您参加2011年6月27-29在波士顿举行的芬兰PICOSUN公司的原子层沉积系统展览。具体内容如下:   Thanks to our excellent ALD systems, we are happy report profitable 100% growth during th

连续流快原子轰击质谱

  cf-FAB 是一种弱离子化技术,可将肽类或小分子量蛋白离子化成MH+或(M-H)形式。主要应用于肽类的分离检测,其具有中等分辨率,精确度大于+0.2amu,流速一般在0.5-1.5μl·Ml-1。在测定使流动相需加0.5%-10%基质如甘油和高有机溶剂成分,使样品在检测探针处达到敏感化。  c

原子层沉积技术开发者获2018年“千年技术奖”

   芬兰技术学会22日宣布,将2018年“千年技术奖”授予芬兰物理学家图奥莫·松托拉,以表彰他研发了在信息技术领域发挥重要作用的原子层沉积技术。 原子层沉积技术可以将物质以单原子膜形式一层一层镀在基底表面,在许多高科技领域发挥着重要作用。目前,所有的计算机和智能手机都使用以原子层沉积技术制成的

山西煤化所原子层沉积设计新型纳米催化剂研究获进展

  氢能作为一种环境友好的清洁能源被认为是可替代化石燃料的重要能源。光催化分解水制氢是一种非常有前景的绿色制氢途径。影响光催化制氢效率的一个主要因素是电子和空穴的分离效率低。在半导体材料表面负载产氢或/和产氧助剂(例如,Pt,Pd,CoOx,NiO)可有效提高电子和空穴的分离效率,尤其是含双助剂的光

清华大学深圳国际研究生院330.00万元采购原子层沉积

  项目概况  高通量原子层沉积仪的潜在投标人应在(本公告附件中)获取招标文件,并于2023年12月8日9:30(北京时间)前网上递交投标文件。  一、项目基本情况  (一)项目编号:SZDL2023002328(CLF0123SZ21ZC72)  (二)项目名称:高通量原子层沉积仪  (三)预算金

ald-工艺-怎么保证-单个原子沉积

原子层沉积(Atomic layer deposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中,新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的,这种方式使每次反应只沉积一层原子。单原子层沉积(atomic layer

质谱及质谱的目的

质谱,是一种分析方法,原理就是让带电原子、分子或分子碎片按质荷比的大小顺序排列,打出相应的谱线。待分析的样品分子在离子源中离化成具有不同质量的单电行分子离子和碎片离子,这些单电荷离子在加速电场中获得相同的动能并形成一束离子,进入由电场和磁场组成的分析器中;其中离子束中速度较慢的离子通过电场后编转大,

气体分析质谱质谱原理

    质谱仪配备QuaderaTM 分析软件, 操作简单, 功能强大, 有128 个检测通道,可生成用户特殊应用软件界面. 在参数设置, 多种实测方式, 谱库, 数据统计, 谱图放大, 光标, 输入输出模块等性能的支持下, 可以更方便地进行定性定量分析以及在线离线分析.     Omnistar/

质谱流式的同位素是原子还是离子

晚上好,这是不可以的,你把概念搞混了。同位素是针对原子的,指的是相同质子数,不同中子数的原子之间互称同位素。而离子说的是原子或原子团失去或获得电子的事情,两者是不相关的。当然,即使构成氧原子和氧离子的原子钟含有的中子数目不同,也不能互称同位素。

质谱

不同质荷比的离子经质量分析器分离,而后被检测并记录下来的谱图叫作质谱图。简称质谱。质谱图的横坐标是质荷比(m/z) ,纵坐标是离子强度;质谱法(Mass Spectrometry) 即质谱分析法, 一般亦简称为质谱;质谱计(Mass Spectrometer): 采用顺次记录各种质荷比离子的强度的方

关于类脂质沉积病的简介

  类脂质沉积病是一个病症名称。  1.病史  注意发病年龄,家族遗传病史,隐袭性发病,缓慢逐渐进展的起病方式,有无发育迟滞,病后精神状态异常,智力减退,表情淡漠,运动笨或肢体瘫痪,视力障碍,听力障碍,抽搐或去脑强直发作,尿便失控等。  2.一般体检  注意有无肝、脾及淋巴结肿大,皮肤鱼鳞癣,黄色瘤

什么是质谱及质谱图

质谱(又叫质谱法)是一种与光谱并列的谱学方法,通常意义上是指广泛应用于各个学科领域中通过制备、分离、检测气相离子来鉴定化合物的一种专门技术。质谱法在一次分析中可提供丰富的结构信息,将分离技术与质谱法相结合是分离科学方法中的一项突破性进展。在众多的分析测试方法中,质谱学方法被认为是一种同时具备高特异性

1750万元-南京大学傅立叶变换离子回旋共振质谱公开招标

  一、项目基本情况  项目编号:GZH2502246(SNZX-20250828)  项目名称:南京大学傅立叶变换离子回旋共振质谱  预算金额:1750.000000 万元(人民币)  最高限价(如有):1750.000000 万元(人民币)  采购需求:  拟采购傅立叶变换离子回旋共振质谱,傅立

原生质层是什么

原生质层,指的是成熟植物细胞的细胞膜、液泡膜和介于这两层膜之间的细胞质。其包括细胞膜,细胞质,液泡膜。注意原生质层只有植物细胞才有,因为概念里提到了液泡膜,这是只有植物细胞才有的。再说说原生质体吧,原生质体(protoplast),指除去细胞壁后,由质膜所包围的具有生活力的裸露植物细胞。离体的原生质