| 仪器名称： | 12寸手动探针台-MPI TS300 |
| 仪器编号： | 23030634 |
| 产地： | 中国台湾 |
| 生产厂家： | MPI |
| 型号： | TS300 |
| 出厂日期： | |
| 购置日期： | 2023-12-19 |
| 所属单位： | 集成电路学院>微纳加工平台>高精尖 |
| 放置地点： | 荷清大厦（润泽大厦） A座一层实验室C101 |
| 固定电话： | 62799552-1168 |
| 固定手机： | 15210967285 |
| 固定email： | jtyang@mail.tinghua.edu.cn |
| 联系人： | 杨建涛（010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分类标签： | 集成电路 |
| 技术指标： | XY轴大范围驱动方式：气浮式360°单手驱动 XY轴移动范围：330 x 420 mm XY<span style="font-size |
| 知名用户： | 钱鹤 唐建石 孙楠 |
| 技术团队： | 测试工作由实验室资深的工程师或者技术人员进行操作和支援 |
| 功能特色： | 可用于一般数字电路的研究，可以支持12寸及以下尺寸（4/6/8寸）晶圆的直流性能测试；可以支持探卡和探针；可以支持20℃~200℃。 连接晶圆与仪表，配合直流性能测试 |
项目名称计价单位费用类别价格备注12寸手动探针台测试费元/小时自主上机机时费140.0
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