分析测试百科网讯 近日，中国科学院福建物质结构研究所2021年3至12月政府采购意向公布，总预算金额1200万元，意向采购原子层沉积系统、原子力显微镜、椭偏仪、X射线单晶衍射系统、扫描电子显微镜等。
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 | 预计 |
| 名称 | (万元) | 采购日期 | ||||
| 1 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 原子层沉积系统 | A02110204半导体器件参数测量仪 |
1) 反应腔最大样品尺寸：8寸； 2) 等离子体发生系统； 3) 3套常温液态源管路，1套加热源管路； 4) 8英寸硅片上Al2O3薄膜厚度不均匀性： 1.5 % (1-sigma, 边缘 5 mm 除外)。 |
110 | 2021年5月 |
| 2 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 实验家具 | A0699其他家具用具 | 1) 实验室推柜实验台、边台、吊柜； 2) 铝玻试剂架及托盘架、水盆、三口水龙头、水杯双龙头、滴水架、洗眼器； 3) 通风药品柜、展示柜、文件柜、储物柜 | 150 | 2021年5月 |
| 3 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 原子力显微镜 | A02100301显微镜 | 1)XY方向扫描范围不小于 90x90μm，Z方向上不小于10μm； 2)样品台尺寸直径不小于200 mm； 3)具备快扫功能； 4)具备contact mode, Force Curve, Tappingmode, Force modulation,智能成像模式等功能。 | 170 | 2021年5月 |
| 4 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 椭偏仪 | A02100304光学测试仪器 | 1)波长范围190-1700nm； 2)厚度测量范围：1nm-15μm； 3)测量准确度：Ψ≤45°±0.05°，Δ≤0°±0.05°； 4)光谱分辨率：优于0.8 nm/像素。 | 100 | 2021年5月 |
| 5 | 中国科学院福建物质结构研究所 | X射线单晶衍射系统(Mo) | A02100405射线式分析仪器 | 1）X射线光源: Mo微焦斑转靶光源系统，输出功率不小于1000W，搭配增强型多层膜镜子； 2）光学编码高精度测角仪：2theta角-90°- +90°，Phi角360°旋转； 3）高灵敏度二维探测器: 有效尺寸不小于70×70 mm² | 280 | 2021年5月 |
| 6 | 中国科学院福建物质结构研究所 | X射线单晶衍射系统(Cu) | A02100405射线式分析仪器 | 1）X射线发生器部分：Cu微焦斑光管功率不小于50W，搭配增强型多层膜镜子； 2）光学编码高精度测角仪：2theta角-90°- +90°，Phi角360°旋转； 3）高灵敏度二维探测器: 有效尺寸不小于：70×70 mm²。 | 140 | 2021年5月 |
| 7 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 扫描电子显微镜 | A02100301显微镜 | 1）场发射电子枪； 2）1kV最高分辨率达到了1.5nm，15kV达到1.0nm； 3）能谱仪系统：能量分辨率优于129eV（Mn Kα的分辨率），配合实现样品的点、线、面成分分析。 | 250 | 2021年5月 |
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