4月14日，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”任务圆满完成，突破了193nm光刻工艺超薄胶膜均匀涂敷等多项关键核心技术，成功研制出具有自主知识产权的300mm晶圆匀胶显影设备考核测试机和上线示范应用机，并在项目实施期间销售5台匀胶显影设备。标志着我国前道芯片制程领域用涂胶显影设备的国产化又迈出了重要的一步，不仅填补了国内技术空白、打破国外长期垄断，也为我国前道芯片制程涂胶显影设备进入前段市场打开了突破口。
据研发人员介绍，“该项目成果产品的成功应用，将大大降低客户采购成本和对国外设备的依赖性，价格较国外同类产品低20%到30%，企业获得的售后技术支持也更加给力。” 目前，该项目共性技术可成功辐射应用于高端封装、LED等技术设备领域，对该类设备产能和稳定性具有极大的提升作用。
生态环境部关于发布京津冀环境综合治理国家科技重大专项2025年度项目申报指南的通知各省、自治区、直辖市生态环境厅（局），新疆生产建设兵团生态环境局，各省、自治区、直辖市、计划单列市科技厅（委、局），新......
国家能源投资集团有限责任公司作为主责单位，现将煤炭重大专项2025年度项目申报指南向社会征求意见和建议。本次征求意见重点针对指南提出的领域方向的合理性、科学性、先进性等方面听取各方意见，将会同有关部门......
关于发布“脑科学与类脑研究”国家科技重大专项2025年度项目申报指南的通告各相关单位：国家自然科学基金委员会作为主责单位管理的“脑科学与类脑研究”国家科技重大专项2025年度项目申报指南已通过国家科技......
自然资源部关于发布深地国家科技重大专项2025年度公开项目申报指南的通知各省、自治区、直辖市及新疆生产建设兵团自然资源主管部门、科技厅（委、局），国务院各有关部门科技主管司局，各有关单位：依据国家科技......
自然资源部关于发布深地国家科技重大专项2025年度公开项目申报指南的通知各省、自治区、直辖市及新疆生产建设兵团自然资源主管部门、科技厅（委、局），国务院各有关部门科技主管司局，各有关单位：依据国家科技......
关于组织申报重点新材料研发及应用国家科技重大专项（科技创新2030重大项目）2025年度项目（公开竞争类）的通知各省、自治区、直辖市及新疆生产建设兵团工业和信息化主管部门，国家发展改革委、教育部、财政......
广东省科学技术厅关于征求2025年度广东省重点领域研发计划“新能源汽车及无人驾驶”重大专项申报指南意见的通知各有关单位：为全面贯彻党的二十大和二十届二中、三中全会精神，深入贯彻习近平总书记关于加强关键......
国家能源局关于发布智能电网国家科技重大专项2025年度公开项目申报指南的通知各省、自治区、直辖市及新疆生产建设兵团能源主管部门、科技厅（委、局），国务院各有关部门科技主管司局，各有关单位：根据国家科技......
各省、自治区、直辖市及新疆生产建设兵团能源主管部门、科技厅（委、局），国务院各有关部门科技主管司局，各有关单位：根据国家科技重大专项有关管理规定，为落实智能电网国家科技重大专项实施方案的部署要求，现将......
近日，湖北省出台具体措施，规范概念验证中心建设与运行管理，进一步优化科技创新生态，助力科技成果转化“最初一公里”。概念验证是从技术、市场、产业等维度，验证一项科技成果的技术可行性，并判断商业价值、评估......