300mm晶圆匀胶显影设备研发成功
4月14日，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”任务圆满完成，突破了193nm光刻工艺超薄胶膜均匀涂敷等多项关键核心技术，成功研制出具有自主知识产权的300mm晶圆匀胶显影设备考核测试机和上线示范应用机，并在项目实施期间销售5台匀胶显影设备。标志着我国前道芯片制程领域用涂胶显影设备的国产化又迈出了重要的一步，不仅填补了国内技术空白、打破国外长期垄断，也为我国前道芯片制程涂胶显影设备进入前段市场打开了突破口。 据研发人员介绍，“该项目成果产品的成功应用，将大大降低客户采购成本和对国外设备的依赖性，价格较国外同类产品低20%到30%，企业获得的售后技术支持也更加给力。” 目前，该项目共性技术可成功辐射应用于高端封装、LED等技术设备领域，对该类设备产能和稳定性具有极大的提升作用。......阅读全文
全自动匀胶显影系统简介
全自动匀胶显影系统是一种用于信息科学与系统科学、物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的工艺试验仪器，于2019年12月5日启用。 技术指标 衬底支持：4英寸，6英寸基片。7个可独立进行控温的热板，高精度热板温度精度+/-0.2℃。匀胶单元每个Cup配置4条光刻胶管路，具备背洗、边缘清
300mm晶圆匀胶显影设备研发成功
4月14日，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”任务圆满完成，突破了193nm光刻工艺超薄胶膜均匀涂敷等多项关键核心技术，成功研制出具有自主知识产权的300mm晶圆匀胶显影设备考核测试机和上线示范应用机，并在项目实施期间销售5台匀胶显影设备。
什么叫正胶显影和负胶显影
正胶显影：正性光刻胶的曝光区的光刻胶在显影液中溶解，在光刻胶上形成三维图形。负胶显影：在负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解，在光刻胶上形成三维图形。正胶具有很好的对比度，所以生成的图形具有良好的分辨率，其他特性如，台阶覆盖好、对比度好；粘附性差、抗刻蚀能力差、高成本。负胶的特性为，具有良好的
匀胶机
旋转涂层机/匀胶机/匀胶仪旋涂仪/甩胶机/旋涂机 型号:MHY-26227产品简介：MHY-26227高性能匀胶机旋涂仪 主要用于液体，胶体在材料表面形成薄膜。 MHY-26227高性能匀胶机旋涂仪 适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不锈钢，金属等制版表面涂覆工艺。 MH
自动滴胶匀胶机
自动滴胶匀胶机/真空旋转涂层机 型号：MHY-29071MHY-29071产品简介：主要用于液体，胶体在材料表面薄膜的形成，适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研，教育，生产中应用。 MHY-29071主要特点：1可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。2每个涂敷工艺过程可以
匀胶机概述
匀胶机主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。 送片盒中的晶片，自动送到承片台上，用真空吸附，在主轴电机的带动下旋转，转速100—9900转/分（±10转/分），起动加速度可调。每道程序的持续时间，转速、加速度、烘烤温度、烘烤时间、预烘时间等工艺参数均可通过编程控制。 匀胶机
匀胶机的原理
匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。 概述 该设备主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。 送片盒中的晶片，自动送到承片台上，用真空吸附，在主轴电机的带动
匀胶机的特点
从其原理来说，匀胶机有以下两个特点。 （1）旋转速度 转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。转速控制方面有国际认定标准，如美国NIST标准等。 （2）真空吸附系统 真空
匀胶机的分类选型
匀胶机是在旋转的基片上，滴注胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。选购技巧从其原理来说，可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节旋转速度转速的快慢和控制直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速大。真空吸附系统的构
匀胶仪旋涂仪
旋转涂层机/匀胶机/匀胶仪旋涂仪/甩胶机/旋涂机 型号:MHY-26227产品简介：MHY-26227高性能匀胶机旋涂仪 主要用于液体，胶体在材料表面形成薄膜。 MHY-26227高性能匀胶机旋涂仪 适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不锈钢，金属等制版表面涂覆工艺。 MH
匀胶机的主要介绍
匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。送片盒中的晶片，自动送到承片台上，用真空吸附，在主轴电机的带动下旋转，转速100-9900转/分(±10转/
匀胶机的操作步骤
1、片托选择合适的（相比于样片尺寸略小），使缺口与螺钉对准。在安装片托时必须要到底。 2、将电源开启，将控制键按下。 3、将匀胶时间和转速调节合适，转速为低速,转速Ⅱ为高速。 4、值得注意的是放片要放正。 5、将“吸片”键按下，抽气开始，值得注意的是在将“吸片”键按下以前，转速电位器上的
匀胶机的选购技巧
怎么选购匀胶机，从其原理来说需要注意的几个细节： 旋转速度 转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能精确标定实时的转速。进口的匀胶机虽
芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁优秀新产品二等奖
芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁省优秀新产品二等奖 近日，经第八届辽宁省优秀新产品奖评审委员会审查，省政府批准，中科院沈阳自动化研究所持股公司芯源公司申报的“集束型匀胶显影设备”被授予辽宁省优秀新产品二等奖。在本届辽宁省新产品评选中，共有31项产品获得一等奖，二等奖59项。评选省
EVG高级匀胶系统共享
仪器名称：高级匀胶系统仪器编号：04001156产地：奥地利生产厂家：EVG型号：EVG101C出厂日期：200303购置日期：200403所属单位：物理系>纳米中心>纳米中心加工平台放置地点：纳米楼超净间固定电话：62796022固定手机：18701647330固定email：andong3014
简述匀胶机使用小技巧
1、依次接上 真空泵的导气管、废液接收罐、废液接收罐上方是排废气的软管。 2、充氮 N2/干燥气体 CDA 的连接，一般这个细管（如上图 4 所示，口径为 6mm）需要接到氮气瓶或者实验室已有的氮气接口。 3、氮气瓶的接口如下图所示，这种接口是箍橡皮管，需要换成找转接头接上旋涂仪的 6mm
匀胶机使用步骤分析解读
匀胶旋涂过程按基片旋转速度及胶质的变化，分几个阶段：滴胶，加速旋转摊胶，匀速旋转匀胶以及去边，其中第 3 阶段匀速旋转阶段是胶质涂层厚度和均匀性控制的重要阶段。1.滴胶在滴胶前，胶质需经过亚微米级别的过滤处理，否则薄膜有可能形成彗星图，星状图，戒产生气泡。滴胶阶段是将胶质溶剂沉积在基片上中心位置的过
匀胶机应用流程剖析讲解
匀胶旋涂全过程按基片转动速率及胶原纤维的转变，分好多个环节：滴胶，加快转动摊胶，均速转动匀胶及其去边，在其中第 3 环节均速转动环节是胶原纤维镀层薄厚和匀称性操纵的关键环节。 1.滴胶 在滴胶前，胶质需历经亚微米级別的过虑解决，不然塑料薄膜有将会产生彗星图，星状图，戒造成汽泡。滴胶环
科技部重大专项办举办“科技重大专项项目管理”培训班
为深入学习贯彻党的十九大精神，切实提高重大专项项目管理水平，2017年11月27-29日，科技部重大专项办公室在京举办首期“国家科技重大专项项目管理培训班”。来自科技部有关司局和直属事业单位、民口10个重大专项实施管理办公室、项目管理专业机构、主要项目（课题）承担单位的业务骨干，以及重大专项推
重大科技专项启动新增新材料专项论证
《经济参考报》记者了解到，国家重大科技专项办公室近期启动重点新材料新增专项论证，加上此前启动的航空发动机与燃气轮机、页岩气项目新增论证，国家重大科技专项有望增至20项，带动相关投资或达千亿元。 航空发动机研制难度大、投资多、周期长、风险高，国外研究一型先进航空发动机直接投入的研制费用在20
西藏科技重大专项成果显著
今年以来，西藏自治区科技厅将西藏自治区第九次党代会、西藏自治区政府工作报告、全区经济工作会议确定的科技工作任务作为年度科技工作重点，深入实施“八大专项”，围绕青稞、牦牛、饲草等特色产业，加大科技攻关力度，实施农牧业科技创新项目58个，投入项目资金8962万元，取得了一批科技成果。 青稞种质创
智能程控匀胶机有哪些特点？
1、 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈，便于清洗。 2、 采用全色7英寸触摸屏控制面板，直观简单更方便操作。 3、 图形显示即时旋涂速度和时间，设置的参数旋涂过程一目了然。（图1） 4、内置电脑控制，Windows操作界面，USB接口与打印机等外部设备连接（可选）。 5、不
操作匀胶机的注意事项
1、在每次开机以前，值得注意的是要抬起控制键以及吸片键，将电源开启以后，分别将各键按下进行操作，从而使没有启动电机就转动得以避免。 2、片子尺寸不一样，选用的片托的尺寸也不一样，厚度低于1.5毫米的片子对带吸气槽的片托进行选用，厚度高于1.5毫米的片子，对O型圈的片托进行选用。 3、相比于片
旋转匀胶机相关内容
旋转匀胶机是一种用于工程与技术科学基础学科领域的计量仪器，于2014年12月12日启用。 技术指标 可以自动定量滴加光刻胶（支持的光刻胶年度在10cp-500cp）,也可以实验手动滴加光刻胶；匀胶的时间可以在0.1s到999s范围内调整且连续；满足旋涂3mm到150mm直径范围的样品；稳定的
重大新药创制科技重大专项取得重大成果
2015年12月3日，重大新药创制科技重大专项（以下简称新药专项）支持的预防用生物制品1类新药—肠道病毒71型灭活疫苗（人二倍体细胞）获得国家食品药品监管总局生产注册批准。该疫苗由中国医学科学院医学生物学研究所自主创新研发，是继Sabin株脊髓灰质炎灭活疫苗后，新药专项取得的又一重大科技成果。
重大新药创制科技重大专项课题申报通知
关于组织重大新药创制科技重大专项2018年度课题申报的通知 国卫科药专项管办〔2017〕 32号 各有关单位： 按照《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006—2020年）》，经国务院批准，“重大新药创制”科技重大专项（以下简称专项）于2008年启动，由国家卫生计生委和军委后勤保障部牵
参与申报“国家重大科技专项”历程
近年来国家在科技方面的投入越来越多，除了越来越多人申请，相对比较公平的国家自然科学基金外，往年还可以申请的大课题有973，863，以及其它不少部委的重大专项如水专项等等。为了便于科研管理，防止有单位从不同的口径就相同的研究内容申请多项研究经费，国家取消了973，863，及一些部委专项新的申请，而
科技重大专项“助力”转型服务民生
记者2日从科技部重大专项办了解到，我国自主研制的治疗类风湿性关节炎Ⅰ类新药艾拉莫德有望2011年内获得国家食品药品监督管理局的批准，成为我国首个在全球上市的同类新药。 “在新药创制专项支持下，16个产品获得新药证书，10多个自主研制新药在发达国家临床试验，36个药物大品种技术顺利改造。例如
西藏首个科技发展重大专项启动
会议现场 7月13日至14日，西藏重大科技项目——“西藏饲料安全与高效养殖关键技术研究与应用示范”启动会暨首届西藏草业科技发展研讨会在西藏科技厅召开。该项目是西藏首个科技发展重大专项。本次会议由西藏高原草业工程技术研究中心主办。西藏科技厅厅长马胜杰，副厅长陈新强、索朗措姆、蒋春茂与
美欧重大科技专项计划概览
由于历史和体制机制原因，欧美发达国家以往没有覆盖全领域的长期科技发展计划。但是，近年来欧美国家逐渐认识到，在重要科技研发领域布局和实施专门性科技计划对国家具有战略意义，纷纷推出一些科技计划。这些计划与我国的国家重大科技专项计划非常类似，旨在维持和提升本国（或本地区）在战略性、竞争性科技研发领域的