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微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广、多学科交叉融合，其最主要的发展方向是微纳器件与系统（MEMS和NEMS）。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列专用技术，研制微型传感器、微型执行器等器件和系统，具有微型化、批量化、成本低的鲜明特点，对现代生活、生产产生了巨大的促进作用，并催生了一批新兴产业。 图1. MEMS微型传感器及微机械结构图 微纳加工技术是先进制造的重要组成部分，是衡量国家高端制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障国防安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。很显然，微纳加工技术与微电子工艺技术有密切关系。 微纳加工大致可以分为“自上而下”和“自下而上”两类。“自上而下”是从宏观对象出发，以光刻......阅读全文
记者日前从中科院光电技术研究所获悉，该所微电子专用设备研发团队已自主研制出一种新型紫外纳米压印光刻机，其成本仅为国外同类设备1/3，将有力推进我国芯片加工等微纳级结构器件制造水平迈上新的台阶。 光刻机是微纳图形加工的专用高端设备。光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍，这套设备采用新型纳米对准
信息-生物-纳米是微纳制造产业和单分子生命科学研究的热点。其中微纳米观测、操控和制造技术是支撑微纳米科技走向应用的基础，是促进信息技术与生命科学实现跨越式发展的使能技术。中国科学院沈阳自动化研究所微纳米组长期以来开展多学科交叉研究，推进信息、生物、纳米技术的融合与发展，在微纳制造和微纳生物领域取
近日，一则喜讯从京城传到苏州工业园区，苏州纳米技术国家大学科技园经科技部、教育部认定，正式在苏州工业园区成立。 这是全国第一个以产业方向为主题的大学科技园，改变了以往大学科技园的认定模式，明确了产业方向，是我国首个以专业化为特色的国家大学科技园。 模式的变化预示了什么? 变
图片说明：美新杯 2008年MEMS传感器应用大赛决赛现场参赛选手与评委合影 第四届IEEE纳米/微米工程及分子系统国际年会(简称IEEE-NEMS)1月5日至8日在深圳成功召开。 作为一年一度的国际学术盛会，IEEE-NEMS年会汇集世界各地优秀的微纳领域科学家，就微米、纳米及
中科院光电技术研究所微电子专用设备研发团队，近日自主研制成功紫外纳米压印光刻机。该机器将新型纳米压印高分辨力光刻技术与紫外光刻技术有机结合，成本仅为国外同类设备的1/3，并在同一加工平台上实现了微米到纳米级的跨尺度图形加工，使我国微纳实用制造水平迈上新的台阶。 光刻机是实现微纳图形加工的专用高
“十二五”国家科技计划先进制造技术领域2013年度备选项目征集指南 为贯彻《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020年)》，落实《国家“十二五”科学和技术发展规划》，根据国家科技计划管理改革的总体精神，促进科技支撑传统制造业转型和战略性新兴产业发展，有效组织实施“十二五”先进制造技术
第四届全国微全分析系统会议（μ-TAS 2007）在大连召开 6月23日，第四届全国微全分析系统会议（μ-TAS 2007）在大连海天白云大酒店隆重召开。大连理工大学王立鼎院士主持了开幕式，我所黄向阳副所长到会致词欢迎来自全国各地的微全分析系统领域的学者和与会代表，林炳承研究员致开幕词
近日，吉林大学孙洪波、张永来教授团队对飞秒激光直写金属微纳结构的多样化制造方法和集成技术做了系统性的总结与评述，并对其丰富的功能应用进行了系统性的梳理和展望。 微纳结构化金属材料由于独特的光学和电学性质，在超材料、电子器件、纳光子器件、近场光学以及催化、储能等诸多研究领域展示出了重要应用前景。
“2010年微纳尺度分离和分析技术学术会议暨第六届全国微全分析学术会议”第三轮通知 尊敬的各位同仁： 非常感谢你们对“2010年微纳尺度分离和分析技术学术会议”的支持。 由国家自然科学基金委、中国化学会联合主办的“2010年微纳尺度分离和分析技术学术会议暨第六届全国微全分析学术会议
微流控芯片的发展 微全分析系统的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz与Widmer提出的，当时主要强调了分析系统的“微”与“全”，及微管道网络的MEMS加工方法，而并未明确其外型特征。次年Manz等即在平板微芯片上实现了毛细管电泳与流动。微型全分析系统当前的发展前沿。
由中国科学院物理研究所、中国科学院北京物质和纳米科学大型仪器区域中心、国家自然科学基金委员会重大研究计划“纳米制造的基础研究”联合实验室共同举办的“2011年微纳米加工技术讲习班”，于7月18日至7月22日在物理所举行。 本次讲习班免费面向国内从事纳米科技的研究者，吸引了来自全国60多
展望未来微流控研究的发展方向 谈到未来，方教授介绍了很多微流控系统的应用。比如：用于现场分析的POCT（Point of Care Testing）方法。 “我请教过很多做临床检验或流行病检测的朋友，我问他们‘现在你们很多情况下用试纸条的系统进行检测，那微型化仪器不就没有用武之地了么？’他们
中国科学院“功能晶体与激光技术”重点实验室面向国家重大需求、高新技术产业、科技发展前沿，以材料科学和激光物理为基础，以无机功能晶体材料和全固态激光为导向，开展非线性光学晶体等先进功能材料和全固态激光器件、技术等应用基础性研究和高技术前沿与发展研究。2011—2012年度拟开放课题，申请事宜如下：
6月15日，经校长办公会议最终审议通过，决定成立复旦大学微纳加工和器件公共实验室。实验室由物理系系主任沈健教授牵头，物理系和微电子系共同参与建设和运转。 纳米科技在高科技领域中具有重要战略地位，但加工、配套器件工艺设备投入和运行成本较大。我国长期以来在先进科研设备方面投入偏少、分散，严重限
王红自从8月份以来就没有休息过了，作为中国微纳国际创新园的总经理，她的时间用“争分夺秒”来形容最恰当不过了，这一切源于8月7日的一个重要声音。 来自无锡的声音 走在无锡，你会发现到处都在建设，尤其是菱湖大道两旁，这里规划的是中国微纳国创新园。从去年开始，创新园已作为国内首家以“微纳技
在科技部和中国科学院的大力支持下，半导体研究所集成技术工程研究中心相关课题组多年来致力于射频谐振器件以及相关的测试表征系统的研制工作，在谐振器构型、微纳加工工艺、器件测试方法研究和测试系统组建等方面取得了系列科研进展。 微机电系统(MEMS)是指利用微纳加工技术制作的、同时具有机
微纳尺度的可控刺激响应生物基材料微结构对生物医药领域具有重要意义。含有不同BSA浓度的微尺度罗马浮雕（标尺：20μm） 尤其是具有精确定义的几何形貌和可重复性好的智能响应型微尺度结构与器件一直是研究热点。双光子聚合微纳加工作为一门新兴的微纳加工技术，为高精细三维微尺度结构的制备提供了有力工具，
在-130℃附近的真空中，水蒸气会凝华成一层超级光滑的薄冰。近日，浙江大学科研人员用这种特殊的“冰”代替传统电子束曝光中的光刻胶，做出了微纳尺度的三维金属结构。这一新颖、简便的“冰刻”术有望在三维微纳加工中大显身手。 据了解，当前最常用的微纳加工方案为电子束曝光技术，简称“光刻”。实际操作中光
据悉，2015年10月28-30日，中国国际纳米技术产业发展论坛暨纳米技术成果展（纳博会）将在苏州国际博览中心举办，吸引了众多国内外顶级科学家和行业领袖。组委会负责人、苏州纳米科技发展有限公司总裁张希军介绍，我国战略性新兴产业已经进入快速发展阶段，纳米技术作为引领战略性新兴产
——访复旦大学张祥民教授 不久前，由国家自然科学基金委、中国化学会分析化学委员会主办，复旦大学、上海交通大学承办的2010年微纳尺度分离和分析技术学术会议暨第六届全国微全分析学术会议在上海复旦大学隆重召开。大会间隙，本
在我国大面积遭受酷暑洗礼时，“科学仪器发展高层沙龙第五次活动暨光谱仪器研发难点及解决方案研讨会”于2013年8月16-17日在气候宜人的吉林长春召开。本次沙龙暨研讨会是中国仪器仪表学会分析仪器分
你开着混动汽车，通过导航仪找到了特色参观，你在坚固温暖的房子里用手机查看着一周的天气预报，你足不出户就能通过电商买到国外的牛奶，你坐在影院里一边吃着爆米花一边看着最新的3D大片…… 虽已习以为常，但我们的生活已确实都被这些曾经的先进技术改变了。在2015年的关口猜想，下一次是谁要改变我们？
诺贝尔奖得主、理论物理学家理查德·费曼曾在1959年率先提出利用微型机器人治病的想法，用他的话说，就是将“外科医生”吞下。随着微纳米加工技术的发展，加工这些可以被吞下的“外科医生”成为现实，人们通常把这些“外科医生”称为人造微纳机器人。受自然界微生物自由运动启发，人造微纳机器人近些年得到了广泛的
大会报告 开幕式结束后，来自南京大学陈洪渊院士、中国科学院大连物化所张玉奎院士、中国科学院生态环境研究中心江桂斌院士、厦门大学陈晓东教授分别带来了精彩的演讲，介绍了当今微流控领域的最新技术进展。南京大学院士陈洪渊 南京大学陈洪渊院士带来了题为《微纳流控生化分析集成系统研究
现代半导体制造业迅速发展，对产品的质量要求越来越高，对相关的微分析技术的要求也越来越高。除了IC 制造以外，纳米结构在新元件上应用越来越多，特别是纳米光子和纳米光学。聚焦离子束（Focused Ion Beam，FIB）系统是在常规离子束和聚焦电子束系统研究的基础上发展起来的，除具有扫描电子显微镜具
环保部发布关于水专项“水环境监测现代装备研发与技术突破”课题申报指南的通知水专项办函〔2009〕2号各有关单位： 根据水专项“国家水环境监测技术体系研究与示范”项目实施方案论证意见，现将该项目所属的“水环境监测现代装备研发与技术突破”课题申报指南（见附件1）和课题申报书格式（见附件2）在环境保护部
“十三五”期间，通过支持我国优势学科和交叉学科的重要前沿方向，以及从国家重大需求中凝练可望取得重大原始创新的研究方向，进一步提升我国主要学科的国际地位，提高科学技术满足国家重大需求的能力。各科学部遴选优先发展领域及其主要研究方向的原则是： （1）在重大前沿领域突出学科交叉，注重多学科协同攻关，
随着柔性电子学、材料科学及微纳加工技术发展，柔性/可穿戴电子技术近年来成为电子器件研究的重要领域。其中，能够实现对外界信号精确感知的高性能柔性可延展传感器是其中的基础性核心元器件之一。由于具有良好曲面共形特征及轻、柔、韧等特性，柔性传感器在人机交互、智能机器人、人工智能、可穿戴设备、医疗监测及运
【简要内容】中科院无锡微纳传感网工程技术研发中心位于人工湖前的一栋写字楼的第四层。中科院上海微系统与信息技术研究所副所长、无锡高新微纳传感网工程技术研发中心主任刘海涛博士最近更忙了。 你想和物体“传情达意”?记者无锡探访“物联网”摇篮 10年后 人人都是“哈利波特” 钥匙“闻”
近期，中国科学院理化技术研究所仿生智能界面科学中心有机纳米光子学实验室的科研团队在光学期刊《激光与光子评论》发表论文[Laser & Photonics Review. 10(4), 665-672 (2016), Three-dimensional Luneburg lens at o